潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具(ju)體(ti)工(gong)藝(yi)對(dui)溫(wen)(wen)度(du)(du)的(de)(de)要(yao)求以(yi)(yi)后還要(yao)列舉，但作(zuo)為總的(de)(de)原則看，由于(yu)(yu)(yu)加(jia)工(gong)精度(du)(du)越(yue)(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)(yue)精細，所(suo)以(yi)(yi)對(dui)溫(wen)(wen)度(du)(du)波動范圍(wei)的(de)(de)要(yao)求越(yue)(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)(yue)小。例如在(zai)大規模(mo)集成電路生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)的(de)(de)光(guang)刻曝光(guang)工(gong)藝(yi)中(zhong)，作(zuo)為掩膜板材(cai)料的(de)(de)玻璃與硅(gui)(gui)片(pian)的(de)(de)熱膨脹(zhang)系數的(de)(de)差要(yao)求越(yue)(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)(yue)小。直徑100 um的(de)(de)硅(gui)(gui)片(pian)，溫(wen)(wen)度(du)(du)上升(sheng)1度(du)(du)，就(jiu)(jiu)引(yin)起(qi)了0.24um線性膨脹(zhang)，所(suo)以(yi)(yi)必須有(you)±0.1度(du)(du)的(de)(de)恒(heng)溫(wen)(wen)，同時(shi)要(yao)求濕(shi)度(du)(du)值一般較(jiao)低(di)，因(yin)為人出汗(han)以(yi)(yi)后，對(dui)產(chan)(chan)品(pin)將有(you)污(wu)染，特(te)別是怕鈉的(de)(de)半導(dao)體(ti)車間，這(zhe)種(zhong)(zhong)車間溫(wen)(wen)度(du)(du)不宜(yi)超過(guo)(guo)(guo)25度(du)(du)，濕(shi)度(du)(du)過(guo)(guo)(guo)高產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)的(de)(de)問題更(geng)多(duo)。相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)超過(guo)(guo)(guo)55%時(shi)，冷卻(que)水管壁上會結露，如果發(fa)生(sheng)(sheng)在(zai)精密裝置或電路中(zhong)，就(jiu)(jiu)會引(yin)起(qi)各(ge)種(zhong)(zhong)事故。相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)在(zai)50%時(shi)易生(sheng)(sheng)銹。此外(wai)，濕(shi)度(du)(du)太高時(shi)將通過(guo)(guo)(guo)空(kong)氣(qi)中(zhong)的(de)(de)水分(fen)子把硅(gui)(gui)片(pian)表面(mian)粘(zhan)(zhan)著的(de)(de)灰塵化學吸附(fu)(fu)在(zai)表面(mian)難以(yi)(yi)清除(chu)。相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)越(yue)(yue)(yue)高,粘(zhan)(zhan)附(fu)(fu)的(de)(de)越(yue)(yue)(yue)難去掉(diao)，但當相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)低(di)于(yu)(yu)(yu)30%時(shi)，又由于(yu)(yu)(yu)靜電力的(de)(de)作(zuo)用使粒(li)子也容易吸附(fu)(fu)于(yu)(yu)(yu)表面(mian)，同時(shi)大量半導(dao)體(ti)器件(jian)容易發(fa)生(sheng)(sheng)擊(ji)穿。對(dui)于(yu)(yu)(yu)硅(gui)(gui)片(pian)生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)濕(shi)度(du)(du)范圍(wei)為35—45%。