潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體工藝對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)溫度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)要求以(yi)后還要列舉，但(dan)作為(wei)(wei)總(zong)的(de)(de)原則看，由于(yu)加工精度(du)(du)(du)(du)越(yue)(yue)來越(yue)(yue)精細，所以(yi)對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)溫度(du)(du)(du)(du)波動范圍的(de)(de)要求越(yue)(yue)來越(yue)(yue)小。例如在(zai)(zai)大規模集成電(dian)路(lu)生(sheng)產(chan)(chan)的(de)(de)光刻(ke)曝光工藝中，作為(wei)(wei)掩膜板材料的(de)(de)玻璃與硅(gui)片(pian)的(de)(de)熱膨脹(zhang)系(xi)數(shu)的(de)(de)差要求越(yue)(yue)來越(yue)(yue)小。直徑(jing)100 um的(de)(de)硅(gui)片(pian)，溫度(du)(du)(du)(du)上(shang)升1度(du)(du)(du)(du)，就(jiu)引起了0.24um線性膨脹(zhang)，所以(yi)必須有±0.1度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)恒(heng)溫，同(tong)時要求濕(shi)度(du)(du)(du)(du)值一般(ban)較低，因為(wei)(wei)人(ren)出汗以(yi)后，對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)產(chan)(chan)品將(jiang)有污染，特(te)別是怕鈉的(de)(de)半(ban)導體車間，這(zhe)種車間溫度(du)(du)(du)(du)不宜(yi)超(chao)過(guo)(guo)25度(du)(du)(du)(du)，濕(shi)度(du)(du)(du)(du)過(guo)(guo)高產(chan)(chan)生(sheng)的(de)(de)問題更多。相對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)(du)超(chao)過(guo)(guo)55%時，冷卻水管壁上(shang)會結露，如果(guo)發(fa)(fa)生(sheng)在(zai)(zai)精密裝置或電(dian)路(lu)中，就(jiu)會引起各種事故。相對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)(du)在(zai)(zai)50%時易(yi)生(sheng)銹(xiu)。此外，濕(shi)度(du)(du)(du)(du)太高時將(jiang)通過(guo)(guo)空氣中的(de)(de)水分子(zi)把硅(gui)片(pian)表面粘著的(de)(de)灰塵化(hua)學吸(xi)附在(zai)(zai)表面難以(yi)清除。相對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)(du)越(yue)(yue)高,粘附的(de)(de)越(yue)(yue)難去掉，但(dan)當相對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)(du)低于(yu)30%時，又由于(yu)靜電(dian)力(li)的(de)(de)作用使粒子(zi)也容易(yi)吸(xi)附于(yu)表面，同(tong)時大量半(ban)導體器件容易(yi)發(fa)(fa)生(sheng)擊穿。對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)于(yu)硅(gui)片(pian)生(sheng)產(chan)(chan)濕(shi)度(du)(du)(du)(du)范圍為(wei)(wei)35—45%。