潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體工(gong)(gong)藝對(dui)(dui)溫度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)要求以(yi)(yi)后還(huan)要列舉，但作(zuo)(zuo)為(wei)(wei)總(zong)的(de)(de)(de)原則(ze)看(kan)，由于加工(gong)(gong)精度(du)(du)(du)越來越精細(xi)，所(suo)以(yi)(yi)對(dui)(dui)溫度(du)(du)(du)波動(dong)范圍的(de)(de)(de)要求越來越小。例如(ru)(ru)在大(da)規模集成電(dian)路生產的(de)(de)(de)光刻曝光工(gong)(gong)藝中，作(zuo)(zuo)為(wei)(wei)掩膜板材料(liao)的(de)(de)(de)玻璃與硅片(pian)的(de)(de)(de)熱(re)膨脹系數的(de)(de)(de)差要求越來越小。直(zhi)徑100 um的(de)(de)(de)硅片(pian)，溫度(du)(du)(du)上(shang)升(sheng)1度(du)(du)(du)，就(jiu)引(yin)起了0.24um線性膨脹，所(suo)以(yi)(yi)必須有±0.1度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)恒溫，同時要求濕(shi)度(du)(du)(du)值一般較低，因為(wei)(wei)人出(chu)汗以(yi)(yi)后，對(dui)(dui)產品將有污染，特別是怕鈉(na)的(de)(de)(de)半(ban)導體車間(jian)，這種車間(jian)溫度(du)(du)(du)不(bu)宜超過25度(du)(du)(du)，濕(shi)度(du)(du)(du)過高(gao)產生的(de)(de)(de)問題更多。相對(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)超過55%時，冷卻水管壁上(shang)會結(jie)露，如(ru)(ru)果發生在精密裝(zhuang)置或電(dian)路中，就(jiu)會引(yin)起各種事(shi)故。相對(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)在50%時易生銹。此外，濕(shi)度(du)(du)(du)太(tai)高(gao)時將通過空氣中的(de)(de)(de)水分子把硅片(pian)表(biao)面粘(zhan)著的(de)(de)(de)灰塵化學吸(xi)附(fu)(fu)在表(biao)面難以(yi)(yi)清除。相對(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)越高(gao),粘(zhan)附(fu)(fu)的(de)(de)(de)越難去掉，但當(dang)相對(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)低于30%時，又由于靜電(dian)力(li)的(de)(de)(de)作(zuo)(zuo)用(yong)使粒子也容(rong)易吸(xi)附(fu)(fu)于表(biao)面，同時大(da)量半(ban)導體器件容(rong)易發生擊穿。對(dui)(dui)于硅片(pian)生產濕(shi)度(du)(du)(du)范圍為(wei)(wei)35—45%。