潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體工(gong)(gong)藝對(dui)溫度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)要(yao)求(qiu)以(yi)(yi)后還(huan)要(yao)列(lie)舉，但作為(wei)(wei)總的(de)(de)(de)原(yuan)則看(kan)，由(you)于(yu)(yu)加工(gong)(gong)精度(du)(du)(du)越(yue)來越(yue)精細，所以(yi)(yi)對(dui)溫度(du)(du)(du)波動范圍(wei)的(de)(de)(de)要(yao)求(qiu)越(yue)來越(yue)小(xiao)。例如在(zai)(zai)大(da)規模集成電(dian)(dian)路(lu)生(sheng)(sheng)產的(de)(de)(de)光刻曝光工(gong)(gong)藝中(zhong)，作為(wei)(wei)掩膜板材料的(de)(de)(de)玻璃與硅片(pian)的(de)(de)(de)熱膨(peng)脹系數(shu)的(de)(de)(de)差要(yao)求(qiu)越(yue)來越(yue)小(xiao)。直徑100 um的(de)(de)(de)硅片(pian)，溫度(du)(du)(du)上升(sheng)1度(du)(du)(du)，就(jiu)引(yin)起了0.24um線性膨(peng)脹，所以(yi)(yi)必須有±0.1度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)恒溫，同(tong)時(shi)(shi)要(yao)求(qiu)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)值(zhi)一般較低，因為(wei)(wei)人出(chu)汗以(yi)(yi)后，對(dui)產品(pin)將有污染，特別(bie)是怕鈉的(de)(de)(de)半(ban)(ban)導體車間(jian)，這種車間(jian)溫度(du)(du)(du)不(bu)宜超過(guo)25度(du)(du)(du)，濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)過(guo)高產生(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)問(wen)題更多。相(xiang)對(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)超過(guo)55%時(shi)(shi)，冷(leng)卻水管(guan)壁上會(hui)結露，如果(guo)發生(sheng)(sheng)在(zai)(zai)精密裝置或電(dian)(dian)路(lu)中(zhong)，就(jiu)會(hui)引(yin)起各種事故。相(xiang)對(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)在(zai)(zai)50%時(shi)(shi)易(yi)(yi)生(sheng)(sheng)銹(xiu)。此(ci)外(wai)，濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)太高時(shi)(shi)將通過(guo)空(kong)氣(qi)中(zhong)的(de)(de)(de)水分子把(ba)硅片(pian)表面(mian)粘著的(de)(de)(de)灰塵化學(xue)吸附在(zai)(zai)表面(mian)難以(yi)(yi)清除。相(xiang)對(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)越(yue)高,粘附的(de)(de)(de)越(yue)難去掉(diao)，但當相(xiang)對(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)低于(yu)(yu)30%時(shi)(shi)，又由(you)于(yu)(yu)靜(jing)電(dian)(dian)力的(de)(de)(de)作用(yong)使粒子也容易(yi)(yi)吸附于(yu)(yu)表面(mian)，同(tong)時(shi)(shi)大(da)量半(ban)(ban)導體器(qi)件容易(yi)(yi)發生(sheng)(sheng)擊穿。對(dui)于(yu)(yu)硅片(pian)生(sheng)(sheng)產濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)范圍(wei)為(wei)(wei)35—45%。