潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體工藝對(dui)(dui)溫(wen)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)要(yao)(yao)求以(yi)后還(huan)要(yao)(yao)列舉(ju)，但作(zuo)為總的(de)(de)(de)(de)原則看，由于(yu)加工精度(du)(du)(du)(du)越(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)精細，所以(yi)對(dui)(dui)溫(wen)度(du)(du)(du)(du)波動范圍的(de)(de)(de)(de)要(yao)(yao)求越(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)小(xiao)。例如(ru)在(zai)大(da)規(gui)模集成(cheng)電(dian)路生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)的(de)(de)(de)(de)光刻(ke)曝(pu)光工藝中，作(zuo)為掩膜板材料的(de)(de)(de)(de)玻璃與硅(gui)(gui)片的(de)(de)(de)(de)熱膨脹(zhang)系數的(de)(de)(de)(de)差要(yao)(yao)求越(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)小(xiao)。直(zhi)徑100 um的(de)(de)(de)(de)硅(gui)(gui)片，溫(wen)度(du)(du)(du)(du)上升1度(du)(du)(du)(du)，就引(yin)起了0.24um線性膨脹(zhang)，所以(yi)必須有±0.1度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)恒溫(wen)，同時(shi)要(yao)(yao)求濕度(du)(du)(du)(du)值一般較(jiao)低，因為人(ren)出汗以(yi)后，對(dui)(dui)產(chan)(chan)品(pin)將(jiang)有污染，特別是怕鈉的(de)(de)(de)(de)半(ban)導體車間，這種車間溫(wen)度(du)(du)(du)(du)不宜超(chao)過25度(du)(du)(du)(du)，濕度(du)(du)(du)(du)過高(gao)(gao)產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)(de)問題更多。相對(dui)(dui)濕度(du)(du)(du)(du)超(chao)過55%時(shi)，冷卻水管壁上會結露，如(ru)果(guo)發生(sheng)(sheng)在(zai)精密裝置(zhi)或電(dian)路中，就會引(yin)起各種事故。相對(dui)(dui)濕度(du)(du)(du)(du)在(zai)50%時(shi)易(yi)(yi)生(sheng)(sheng)銹。此(ci)外，濕度(du)(du)(du)(du)太高(gao)(gao)時(shi)將(jiang)通過空氣中的(de)(de)(de)(de)水分子(zi)把硅(gui)(gui)片表面粘著的(de)(de)(de)(de)灰(hui)塵化學吸附在(zai)表面難以(yi)清(qing)除。相對(dui)(dui)濕度(du)(du)(du)(du)越(yue)(yue)高(gao)(gao),粘附的(de)(de)(de)(de)越(yue)(yue)難去掉，但當(dang)相對(dui)(dui)濕度(du)(du)(du)(du)低于(yu)30%時(shi)，又由于(yu)靜電(dian)力的(de)(de)(de)(de)作(zuo)用使粒(li)子(zi)也容(rong)易(yi)(yi)吸附于(yu)表面，同時(shi)大(da)量(liang)半(ban)導體器件(jian)容(rong)易(yi)(yi)發生(sheng)(sheng)擊穿。對(dui)(dui)于(yu)硅(gui)(gui)片生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)濕度(du)(du)(du)(du)范圍為35—45%。