潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體工(gong)藝對(dui)(dui)(dui)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)要(yao)求(qiu)以后還要(yao)列(lie)舉，但(dan)(dan)作為(wei)(wei)總(zong)的(de)(de)(de)(de)原則看(kan)，由(you)于(yu)加工(gong)精度(du)(du)(du)越來越精細，所以對(dui)(dui)(dui)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)波動范(fan)圍(wei)的(de)(de)(de)(de)要(yao)求(qiu)越來越小。例如在(zai)(zai)大(da)(da)規模(mo)集成(cheng)電路生產的(de)(de)(de)(de)光刻曝(pu)光工(gong)藝中，作為(wei)(wei)掩膜板材(cai)料的(de)(de)(de)(de)玻璃與硅(gui)(gui)片的(de)(de)(de)(de)熱膨脹(zhang)系數的(de)(de)(de)(de)差要(yao)求(qiu)越來越小。直徑100 um的(de)(de)(de)(de)硅(gui)(gui)片，溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)上升1度(du)(du)(du)，就引(yin)(yin)起了0.24um線性膨脹(zhang)，所以必須有(you)±0.1度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)恒溫(wen)(wen)，同(tong)時(shi)(shi)要(yao)求(qiu)濕(shi)度(du)(du)(du)值一般較低，因(yin)為(wei)(wei)人(ren)出汗以后，對(dui)(dui)(dui)產品將有(you)污染(ran)，特(te)別是怕鈉的(de)(de)(de)(de)半(ban)導(dao)體車間(jian)，這種(zhong)車間(jian)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)不宜(yi)超過(guo)25度(du)(du)(du)，濕(shi)度(du)(du)(du)過(guo)高(gao)(gao)產生的(de)(de)(de)(de)問題(ti)更(geng)多。相對(dui)(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)超過(guo)55%時(shi)(shi)，冷卻水(shui)管壁(bi)上會結(jie)露，如果發生在(zai)(zai)精密(mi)裝置或電路中，就會引(yin)(yin)起各種(zhong)事故。相對(dui)(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)在(zai)(zai)50%時(shi)(shi)易生銹。此外，濕(shi)度(du)(du)(du)太高(gao)(gao)時(shi)(shi)將通(tong)過(guo)空(kong)氣中的(de)(de)(de)(de)水(shui)分子(zi)把(ba)硅(gui)(gui)片表(biao)面粘(zhan)著的(de)(de)(de)(de)灰塵化學吸附(fu)在(zai)(zai)表(biao)面難(nan)以清除。相對(dui)(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)越高(gao)(gao),粘(zhan)附(fu)的(de)(de)(de)(de)越難(nan)去掉，但(dan)(dan)當(dang)相對(dui)(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)低于(yu)30%時(shi)(shi)，又由(you)于(yu)靜電力的(de)(de)(de)(de)作用使粒子(zi)也容易吸附(fu)于(yu)表(biao)面，同(tong)時(shi)(shi)大(da)(da)量半(ban)導(dao)體器件容易發生擊穿。對(dui)(dui)(dui)于(yu)硅(gui)(gui)片生產濕(shi)度(du)(du)(du)范(fan)圍(wei)為(wei)(wei)35—45%。