潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體工藝(yi)對溫(wen)度(du)(du)的(de)(de)(de)要(yao)求以后(hou)還要(yao)列舉，但作(zuo)(zuo)(zuo)為總(zong)的(de)(de)(de)原則看，由(you)于(yu)加工精度(du)(du)越(yue)(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)(yue)精細，所以對溫(wen)度(du)(du)波動范(fan)圍的(de)(de)(de)要(yao)求越(yue)(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)(yue)小。例如在(zai)大規模集成電路生(sheng)產的(de)(de)(de)光(guang)刻曝光(guang)工藝(yi)中(zhong)，作(zuo)(zuo)(zuo)為掩膜板材料的(de)(de)(de)玻(bo)璃與硅片的(de)(de)(de)熱膨(peng)脹(zhang)系數的(de)(de)(de)差要(yao)求越(yue)(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)(yue)小。直徑100 um的(de)(de)(de)硅片，溫(wen)度(du)(du)上升1度(du)(du)，就引(yin)起了0.24um線性膨(peng)脹(zhang)，所以必須有(you)±0.1度(du)(du)的(de)(de)(de)恒溫(wen)，同(tong)時(shi)要(yao)求濕(shi)(shi)度(du)(du)值一般較低(di)，因為人出(chu)汗以后(hou)，對產品將有(you)污染，特別(bie)是(shi)怕鈉的(de)(de)(de)半(ban)導(dao)體車間(jian)(jian)，這種車間(jian)(jian)溫(wen)度(du)(du)不宜超(chao)過25度(du)(du)，濕(shi)(shi)度(du)(du)過高產生(sheng)的(de)(de)(de)問(wen)題更多。相對濕(shi)(shi)度(du)(du)超(chao)過55%時(shi)，冷卻水管壁上會(hui)結(jie)露(lu)，如果發生(sheng)在(zai)精密(mi)裝置或電路中(zhong)，就會(hui)引(yin)起各(ge)種事故。相對濕(shi)(shi)度(du)(du)在(zai)50%時(shi)易生(sheng)銹。此外，濕(shi)(shi)度(du)(du)太高時(shi)將通過空氣(qi)中(zhong)的(de)(de)(de)水分子(zi)(zi)把硅片表面(mian)粘著的(de)(de)(de)灰(hui)塵化學吸附在(zai)表面(mian)難(nan)以清(qing)除。相對濕(shi)(shi)度(du)(du)越(yue)(yue)(yue)高,粘附的(de)(de)(de)越(yue)(yue)(yue)難(nan)去掉，但當相對濕(shi)(shi)度(du)(du)低(di)于(yu)30%時(shi)，又由(you)于(yu)靜電力(li)的(de)(de)(de)作(zuo)(zuo)(zuo)用(yong)使粒子(zi)(zi)也容(rong)易吸附于(yu)表面(mian)，同(tong)時(shi)大量半(ban)導(dao)體器件容(rong)易發生(sheng)擊穿。對于(yu)硅片生(sheng)產濕(shi)(shi)度(du)(du)范(fan)圍為35—45%。