潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體工藝(yi)對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)溫度(du)(du)(du)的(de)(de)要(yao)求以(yi)后還(huan)要(yao)列舉(ju)，但(dan)作(zuo)為總的(de)(de)原(yuan)則看，由于(yu)(yu)加(jia)工精(jing)度(du)(du)(du)越(yue)(yue)來越(yue)(yue)精(jing)細，所以(yi)對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)溫度(du)(du)(du)波動范圍(wei)的(de)(de)要(yao)求越(yue)(yue)來越(yue)(yue)小。例如在大規模集成(cheng)電(dian)路(lu)生(sheng)產(chan)的(de)(de)光(guang)(guang)刻曝光(guang)(guang)工藝(yi)中，作(zuo)為掩膜板材料的(de)(de)玻璃與硅(gui)片的(de)(de)熱膨脹系數(shu)的(de)(de)差要(yao)求越(yue)(yue)來越(yue)(yue)小。直徑(jing)100 um的(de)(de)硅(gui)片，溫度(du)(du)(du)上升1度(du)(du)(du)，就引起了0.24um線性膨脹，所以(yi)必須有±0.1度(du)(du)(du)的(de)(de)恒溫，同時(shi)(shi)要(yao)求濕度(du)(du)(du)值一般較低，因為人出汗以(yi)后，對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)產(chan)品將有污染(ran)，特別是怕鈉(na)的(de)(de)半(ban)導體車間，這種車間溫度(du)(du)(du)不宜超過(guo)25度(du)(du)(du)，濕度(du)(du)(du)過(guo)高(gao)產(chan)生(sheng)的(de)(de)問題更多。相對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)濕度(du)(du)(du)超過(guo)55%時(shi)(shi)，冷卻水(shui)管(guan)壁上會(hui)結(jie)露，如果發生(sheng)在精(jing)密(mi)裝置或電(dian)路(lu)中，就會(hui)引起各種事故。相對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)濕度(du)(du)(du)在50%時(shi)(shi)易生(sheng)銹。此外，濕度(du)(du)(du)太高(gao)時(shi)(shi)將通過(guo)空氣中的(de)(de)水(shui)分子把硅(gui)片表(biao)面粘著的(de)(de)灰塵化(hua)學(xue)吸附(fu)在表(biao)面難以(yi)清除。相對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)濕度(du)(du)(du)越(yue)(yue)高(gao),粘附(fu)的(de)(de)越(yue)(yue)難去掉(diao)，但(dan)當(dang)相對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)濕度(du)(du)(du)低于(yu)(yu)30%時(shi)(shi)，又由于(yu)(yu)靜電(dian)力的(de)(de)作(zuo)用使(shi)粒子也容易吸附(fu)于(yu)(yu)表(biao)面，同時(shi)(shi)大量半(ban)導體器件容易發生(sheng)擊穿。對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)于(yu)(yu)硅(gui)片生(sheng)產(chan)濕度(du)(du)(du)范圍(wei)為35—45%。