潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體(ti)工(gong)(gong)藝對(dui)(dui)溫(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)要(yao)求以(yi)(yi)后(hou)還(huan)要(yao)列舉(ju)，但作(zuo)為總的(de)(de)原則(ze)看，由于(yu)加工(gong)(gong)精度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)越(yue)(yue)(yue)(yue)來(lai)(lai)越(yue)(yue)(yue)(yue)精細，所以(yi)(yi)對(dui)(dui)溫(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)波(bo)動范圍的(de)(de)要(yao)求越(yue)(yue)(yue)(yue)來(lai)(lai)越(yue)(yue)(yue)(yue)小。例如在大規模集成(cheng)電(dian)(dian)路生產(chan)(chan)的(de)(de)光刻(ke)曝光工(gong)(gong)藝中(zhong)(zhong)，作(zuo)為掩膜板材料(liao)的(de)(de)玻璃與硅片(pian)的(de)(de)熱膨脹(zhang)系(xi)數的(de)(de)差(cha)要(yao)求越(yue)(yue)(yue)(yue)來(lai)(lai)越(yue)(yue)(yue)(yue)小。直徑100 um的(de)(de)硅片(pian)，溫(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)上升1度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)，就引(yin)起了0.24um線性膨脹(zhang)，所以(yi)(yi)必須(xu)有±0.1度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)恒溫(wen)，同時(shi)要(yao)求濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)值一般較低，因為人出汗以(yi)(yi)后(hou)，對(dui)(dui)產(chan)(chan)品(pin)將有污染，特(te)別(bie)是怕(pa)鈉的(de)(de)半(ban)導體(ti)車間，這種車間溫(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)不(bu)宜超(chao)過(guo)(guo)25度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)，濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)過(guo)(guo)高(gao)(gao)產(chan)(chan)生的(de)(de)問題(ti)更多。相(xiang)對(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)超(chao)過(guo)(guo)55%時(shi)，冷卻水(shui)管(guan)壁上會(hui)結(jie)露，如果發生在精密(mi)裝置(zhi)或電(dian)(dian)路中(zhong)(zhong)，就會(hui)引(yin)起各種事故(gu)。相(xiang)對(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)在50%時(shi)易生銹。此(ci)外(wai)，濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)太高(gao)(gao)時(shi)將通過(guo)(guo)空氣中(zhong)(zhong)的(de)(de)水(shui)分(fen)子把硅片(pian)表(biao)面(mian)粘(zhan)(zhan)著的(de)(de)灰塵化學吸(xi)附(fu)在表(biao)面(mian)難以(yi)(yi)清除(chu)。相(xiang)對(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)越(yue)(yue)(yue)(yue)高(gao)(gao),粘(zhan)(zhan)附(fu)的(de)(de)越(yue)(yue)(yue)(yue)難去掉，但當相(xiang)對(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)低于(yu)30%時(shi)，又由于(yu)靜電(dian)(dian)力的(de)(de)作(zuo)用使粒子也容易吸(xi)附(fu)于(yu)表(biao)面(mian)，同時(shi)大量半(ban)導體(ti)器件容易發生擊穿。對(dui)(dui)于(yu)硅片(pian)生產(chan)(chan)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)范圍為35—45%。