潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體(ti)工藝(yi)對(dui)(dui)溫(wen)度(du)(du)(du)的要求(qiu)(qiu)以(yi)(yi)后還(huan)要列舉，但(dan)作(zuo)(zuo)為總的原(yuan)則看，由于加工精(jing)(jing)(jing)度(du)(du)(du)越(yue)來越(yue)精(jing)(jing)(jing)細，所以(yi)(yi)對(dui)(dui)溫(wen)度(du)(du)(du)波動范圍(wei)(wei)的要求(qiu)(qiu)越(yue)來越(yue)小。例如在(zai)(zai)大規模集(ji)成(cheng)電路生(sheng)產(chan)的光刻曝光工藝(yi)中，作(zuo)(zuo)為掩膜(mo)板材(cai)料的玻(bo)璃與硅(gui)片(pian)的熱(re)膨脹(zhang)系數的差要求(qiu)(qiu)越(yue)來越(yue)小。直徑100 um的硅(gui)片(pian)，溫(wen)度(du)(du)(du)上升1度(du)(du)(du)，就(jiu)引(yin)起了0.24um線性膨脹(zhang)，所以(yi)(yi)必須有±0.1度(du)(du)(du)的恒溫(wen)，同(tong)時要求(qiu)(qiu)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)值一(yi)般(ban)較低，因(yin)為人(ren)出汗以(yi)(yi)后，對(dui)(dui)產(chan)品將有污(wu)染，特別是怕鈉(na)的半導(dao)體(ti)車間，這種(zhong)(zhong)車間溫(wen)度(du)(du)(du)不宜超(chao)過25度(du)(du)(du)，濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)過高產(chan)生(sheng)的問題更多。相(xiang)對(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)超(chao)過55%時，冷卻水(shui)管(guan)壁上會(hui)結(jie)露，如果發(fa)(fa)生(sheng)在(zai)(zai)精(jing)(jing)(jing)密裝置或(huo)電路中，就(jiu)會(hui)引(yin)起各種(zhong)(zhong)事故(gu)。相(xiang)對(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)在(zai)(zai)50%時易生(sheng)銹。此外，濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)太高時將通過空(kong)氣(qi)中的水(shui)分子把硅(gui)片(pian)表(biao)面粘(zhan)著的灰(hui)塵化學吸附(fu)(fu)在(zai)(zai)表(biao)面難以(yi)(yi)清除(chu)。相(xiang)對(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)越(yue)高,粘(zhan)附(fu)(fu)的越(yue)難去掉，但(dan)當相(xiang)對(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)低于30%時，又由于靜(jing)電力的作(zuo)(zuo)用使粒(li)子也容(rong)易吸附(fu)(fu)于表(biao)面，同(tong)時大量(liang)半導(dao)體(ti)器件容(rong)易發(fa)(fa)生(sheng)擊穿。對(dui)(dui)于硅(gui)片(pian)生(sheng)產(chan)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)范圍(wei)(wei)為35—45%。