潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體工(gong)藝對(dui)溫(wen)度(du)(du)的(de)要(yao)求以(yi)(yi)后還要(yao)列舉(ju)，但(dan)作(zuo)為(wei)總的(de)原則看(kan)，由于(yu)(yu)(yu)加工(gong)精度(du)(du)越(yue)(yue)(yue)來越(yue)(yue)(yue)精細，所(suo)以(yi)(yi)對(dui)溫(wen)度(du)(du)波(bo)動范(fan)圍的(de)要(yao)求越(yue)(yue)(yue)來越(yue)(yue)(yue)小(xiao)。例如在(zai)(zai)(zai)大規模集成電路生(sheng)產的(de)光刻曝光工(gong)藝中，作(zuo)為(wei)掩(yan)膜板材料的(de)玻璃與硅片(pian)的(de)熱膨脹(zhang)系數(shu)的(de)差要(yao)求越(yue)(yue)(yue)來越(yue)(yue)(yue)小(xiao)。直(zhi)徑100 um的(de)硅片(pian)，溫(wen)度(du)(du)上(shang)升1度(du)(du)，就(jiu)引(yin)起了0.24um線性膨脹(zhang)，所(suo)以(yi)(yi)必須有(you)±0.1度(du)(du)的(de)恒溫(wen)，同時(shi)要(yao)求濕(shi)度(du)(du)值(zhi)一般較(jiao)低(di)，因為(wei)人出汗以(yi)(yi)后，對(dui)產品將有(you)污染(ran)，特別是怕(pa)鈉的(de)半導(dao)體車間，這種車間溫(wen)度(du)(du)不宜超(chao)過(guo)25度(du)(du)，濕(shi)度(du)(du)過(guo)高(gao)產生(sheng)的(de)問題(ti)更多。相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)超(chao)過(guo)55%時(shi)，冷卻水管(guan)壁上(shang)會結(jie)露(lu)，如果發生(sheng)在(zai)(zai)(zai)精密(mi)裝置或電路中，就(jiu)會引(yin)起各種事故。相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)在(zai)(zai)(zai)50%時(shi)易(yi)生(sheng)銹。此外，濕(shi)度(du)(du)太高(gao)時(shi)將通過(guo)空氣中的(de)水分子把硅片(pian)表面(mian)粘著的(de)灰(hui)塵化學吸附在(zai)(zai)(zai)表面(mian)難以(yi)(yi)清除(chu)。相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)越(yue)(yue)(yue)高(gao),粘附的(de)越(yue)(yue)(yue)難去掉，但(dan)當(dang)相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)低(di)于(yu)(yu)(yu)30%時(shi)，又(you)由于(yu)(yu)(yu)靜電力的(de)作(zuo)用使粒子也容易(yi)吸附于(yu)(yu)(yu)表面(mian)，同時(shi)大量半導(dao)體器件容易(yi)發生(sheng)擊穿。對(dui)于(yu)(yu)(yu)硅片(pian)生(sheng)產濕(shi)度(du)(du)范(fan)圍為(wei)35—45%。