潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體(ti)(ti)(ti)工(gong)(gong)藝對(dui)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)的(de)(de)要(yao)求以(yi)后還要(yao)列舉，但(dan)作(zuo)為總(zong)的(de)(de)原則看，由于(yu)加工(gong)(gong)精度(du)(du)(du)越來越精細，所以(yi)對(dui)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)波動范圍(wei)的(de)(de)要(yao)求越來越小(xiao)(xiao)。例如在(zai)大(da)規(gui)模集成(cheng)電(dian)路生(sheng)產(chan)的(de)(de)光(guang)刻曝光(guang)工(gong)(gong)藝中(zhong)(zhong)，作(zuo)為掩膜板材(cai)料的(de)(de)玻璃與硅(gui)(gui)片(pian)的(de)(de)熱膨(peng)脹系數的(de)(de)差要(yao)求越來越小(xiao)(xiao)。直(zhi)徑100 um的(de)(de)硅(gui)(gui)片(pian)，溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)上升(sheng)1度(du)(du)(du)，就引起了0.24um線性膨(peng)脹，所以(yi)必須有±0.1度(du)(du)(du)的(de)(de)恒溫(wen)(wen)，同時(shi)要(yao)求濕(shi)度(du)(du)(du)值一般較低(di)，因為人出汗以(yi)后，對(dui)產(chan)品將有污染，特別是怕鈉的(de)(de)半(ban)(ban)導(dao)體(ti)(ti)(ti)車(che)間(jian)，這種(zhong)車(che)間(jian)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)不宜超過25度(du)(du)(du)，濕(shi)度(du)(du)(du)過高產(chan)生(sheng)的(de)(de)問題更多(duo)。相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)超過55%時(shi)，冷卻(que)水管壁上會(hui)結(jie)露，如果發生(sheng)在(zai)精密(mi)裝置或電(dian)路中(zhong)(zhong)，就會(hui)引起各種(zhong)事故。相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)在(zai)50%時(shi)易生(sheng)銹。此外，濕(shi)度(du)(du)(du)太高時(shi)將通過空氣中(zhong)(zhong)的(de)(de)水分子把硅(gui)(gui)片(pian)表(biao)面(mian)粘著的(de)(de)灰(hui)塵(chen)化(hua)學(xue)吸附(fu)在(zai)表(biao)面(mian)難以(yi)清除。相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)越高,粘附(fu)的(de)(de)越難去掉(diao)，但(dan)當相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)低(di)于(yu)30%時(shi)，又由于(yu)靜電(dian)力的(de)(de)作(zuo)用(yong)使粒(li)子也(ye)容(rong)易吸附(fu)于(yu)表(biao)面(mian)，同時(shi)大(da)量半(ban)(ban)導(dao)體(ti)(ti)(ti)器(qi)件容(rong)易發生(sheng)擊穿。對(dui)于(yu)硅(gui)(gui)片(pian)生(sheng)產(chan)濕(shi)度(du)(du)(du)范圍(wei)為35—45%。