潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體(ti)工(gong)藝對溫度(du)(du)的(de)要求(qiu)以(yi)(yi)后還(huan)要列舉，但(dan)作為總的(de)原則看，由于(yu)(yu)加工(gong)精(jing)度(du)(du)越(yue)(yue)來越(yue)(yue)精(jing)細，所(suo)以(yi)(yi)對溫度(du)(du)波動(dong)范圍的(de)要求(qiu)越(yue)(yue)來越(yue)(yue)小。例如在(zai)大規模(mo)集成(cheng)電路生(sheng)產(chan)的(de)光刻曝光工(gong)藝中，作為掩膜板(ban)材料的(de)玻璃(li)與硅(gui)片的(de)熱膨(peng)(peng)脹系數的(de)差要求(qiu)越(yue)(yue)來越(yue)(yue)小。直徑100 um的(de)硅(gui)片，溫度(du)(du)上升1度(du)(du)，就引(yin)起了0.24um線性膨(peng)(peng)脹，所(suo)以(yi)(yi)必須(xu)有(you)±0.1度(du)(du)的(de)恒(heng)溫，同(tong)時要求(qiu)濕(shi)(shi)度(du)(du)值一(yi)般較低(di)(di)，因(yin)為人(ren)出(chu)汗(han)以(yi)(yi)后，對產(chan)品將有(you)污染，特別是怕(pa)鈉的(de)半(ban)導體(ti)車間(jian)(jian)，這種車間(jian)(jian)溫度(du)(du)不宜超過(guo)25度(du)(du)，濕(shi)(shi)度(du)(du)過(guo)高產(chan)生(sheng)的(de)問題(ti)更(geng)多。相對濕(shi)(shi)度(du)(du)超過(guo)55%時，冷卻水管壁上會(hui)結露，如果發(fa)生(sheng)在(zai)精(jing)密(mi)裝置或(huo)電路中，就會(hui)引(yin)起各種事(shi)故(gu)。相對濕(shi)(shi)度(du)(du)在(zai)50%時易生(sheng)銹。此外，濕(shi)(shi)度(du)(du)太高時將通過(guo)空氣中的(de)水分(fen)子把硅(gui)片表(biao)(biao)面粘著的(de)灰塵化學(xue)吸附在(zai)表(biao)(biao)面難(nan)以(yi)(yi)清除。相對濕(shi)(shi)度(du)(du)越(yue)(yue)高,粘附的(de)越(yue)(yue)難(nan)去掉，但(dan)當(dang)相對濕(shi)(shi)度(du)(du)低(di)(di)于(yu)(yu)30%時，又由于(yu)(yu)靜電力(li)的(de)作用使粒子也容易吸附于(yu)(yu)表(biao)(biao)面，同(tong)時大量半(ban)導體(ti)器件容易發(fa)生(sheng)擊穿。對于(yu)(yu)硅(gui)片生(sheng)產(chan)濕(shi)(shi)度(du)(du)范圍為35—45%。