潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具(ju)體工藝(yi)對(dui)溫(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)以后還要(yao)(yao)列舉，但作(zuo)(zuo)(zuo)為(wei)總的(de)(de)(de)(de)原則看(kan)，由于(yu)加工精度(du)(du)(du)越(yue)(yue)來(lai)(lai)越(yue)(yue)精細，所以對(dui)溫(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)波動(dong)范(fan)圍(wei)的(de)(de)(de)(de)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)越(yue)(yue)來(lai)(lai)越(yue)(yue)小(xiao)。例(li)如(ru)在大(da)規模集成(cheng)電路生(sheng)(sheng)(sheng)產的(de)(de)(de)(de)光(guang)刻曝光(guang)工藝(yi)中，作(zuo)(zuo)(zuo)為(wei)掩膜板材料的(de)(de)(de)(de)玻璃與硅(gui)片(pian)(pian)的(de)(de)(de)(de)熱膨(peng)脹(zhang)系數(shu)的(de)(de)(de)(de)差要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)越(yue)(yue)來(lai)(lai)越(yue)(yue)小(xiao)。直徑100 um的(de)(de)(de)(de)硅(gui)片(pian)(pian)，溫(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)上(shang)(shang)升1度(du)(du)(du)，就(jiu)引(yin)(yin)起(qi)(qi)了0.24um線性膨(peng)脹(zhang)，所以必(bi)須有±0.1度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)恒溫(wen)(wen)(wen)，同時(shi)(shi)(shi)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)濕(shi)度(du)(du)(du)值一般較低(di)(di)，因為(wei)人出汗以后，對(dui)產品(pin)將有污染，特別是(shi)怕鈉的(de)(de)(de)(de)半導體車間(jian)(jian)，這種車間(jian)(jian)溫(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)不宜超過(guo)25度(du)(du)(du)，濕(shi)度(du)(du)(du)過(guo)高產生(sheng)(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)(de)問(wen)題更多。相(xiang)(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)超過(guo)55%時(shi)(shi)(shi)，冷卻水(shui)管(guan)壁(bi)上(shang)(shang)會(hui)結露，如(ru)果(guo)發生(sheng)(sheng)(sheng)在精密裝置或電路中，就(jiu)會(hui)引(yin)(yin)起(qi)(qi)各(ge)種事故。相(xiang)(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)在50%時(shi)(shi)(shi)易生(sheng)(sheng)(sheng)銹。此(ci)外(wai)，濕(shi)度(du)(du)(du)太(tai)高時(shi)(shi)(shi)將通過(guo)空氣中的(de)(de)(de)(de)水(shui)分子把硅(gui)片(pian)(pian)表(biao)面(mian)粘著的(de)(de)(de)(de)灰(hui)塵(chen)化學(xue)吸附(fu)在表(biao)面(mian)難以清除(chu)。相(xiang)(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)越(yue)(yue)高,粘附(fu)的(de)(de)(de)(de)越(yue)(yue)難去掉，但當相(xiang)(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)低(di)(di)于(yu)30%時(shi)(shi)(shi)，又由于(yu)靜電力(li)的(de)(de)(de)(de)作(zuo)(zuo)(zuo)用(yong)使粒(li)子也容易吸附(fu)于(yu)表(biao)面(mian)，同時(shi)(shi)(shi)大(da)量半導體器(qi)件容易發生(sheng)(sheng)(sheng)擊(ji)穿。對(dui)于(yu)硅(gui)片(pian)(pian)生(sheng)(sheng)(sheng)產濕(shi)度(du)(du)(du)范(fan)圍(wei)為(wei)35—45%。