潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體工(gong)藝(yi)對(dui)(dui)(dui)溫(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)要(yao)(yao)求(qiu)以(yi)后還要(yao)(yao)列(lie)舉，但(dan)作(zuo)為(wei)總的(de)(de)原則看(kan)，由于(yu)(yu)加工(gong)精(jing)度(du)(du)(du)(du)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)精(jing)細，所(suo)以(yi)對(dui)(dui)(dui)溫(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)波動(dong)范圍的(de)(de)要(yao)(yao)求(qiu)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)小。例如(ru)在大(da)規(gui)模集成電(dian)(dian)路(lu)生產的(de)(de)光(guang)刻曝光(guang)工(gong)藝(yi)中(zhong)，作(zuo)為(wei)掩膜(mo)板材料的(de)(de)玻(bo)璃(li)與硅片(pian)的(de)(de)熱膨脹(zhang)系(xi)數的(de)(de)差要(yao)(yao)求(qiu)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)小。直(zhi)徑(jing)100 um的(de)(de)硅片(pian)，溫(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)上(shang)升1度(du)(du)(du)(du)，就(jiu)引起(qi)(qi)了0.24um線性膨脹(zhang)，所(suo)以(yi)必須有±0.1度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)恒溫(wen)(wen)(wen)，同時(shi)(shi)要(yao)(yao)求(qiu)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)值一般較低，因為(wei)人出(chu)汗以(yi)后，對(dui)(dui)(dui)產品(pin)將有污染，特(te)別(bie)是(shi)怕鈉的(de)(de)半(ban)導(dao)體車間，這種車間溫(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)不(bu)宜(yi)超過25度(du)(du)(du)(du)，濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)過高產生的(de)(de)問(wen)題更多。相(xiang)對(dui)(dui)(dui)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)超過55%時(shi)(shi)，冷卻水(shui)管壁上(shang)會(hui)結露，如(ru)果(guo)發生在精(jing)密裝置或電(dian)(dian)路(lu)中(zhong)，就(jiu)會(hui)引起(qi)(qi)各種事故。相(xiang)對(dui)(dui)(dui)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)在50%時(shi)(shi)易生銹。此外(wai)，濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)太高時(shi)(shi)將通過空氣中(zhong)的(de)(de)水(shui)分子把硅片(pian)表面粘著的(de)(de)灰塵化學吸附在表面難(nan)以(yi)清(qing)除。相(xiang)對(dui)(dui)(dui)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)高,粘附的(de)(de)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)難(nan)去掉，但(dan)當(dang)相(xiang)對(dui)(dui)(dui)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)低于(yu)(yu)30%時(shi)(shi)，又由于(yu)(yu)靜(jing)電(dian)(dian)力的(de)(de)作(zuo)用使粒子也容易吸附于(yu)(yu)表面，同時(shi)(shi)大(da)量半(ban)導(dao)體器件容易發生擊(ji)穿。對(dui)(dui)(dui)于(yu)(yu)硅片(pian)生產濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)范圍為(wei)35—45%。