潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體(ti)工(gong)(gong)藝(yi)對(dui)(dui)(dui)溫度(du)(du)的(de)要(yao)求以后還要(yao)列舉，但(dan)作(zuo)(zuo)為(wei)總的(de)原則看(kan)，由于(yu)加工(gong)(gong)精(jing)度(du)(du)越(yue)來(lai)(lai)越(yue)精(jing)細，所以對(dui)(dui)(dui)溫度(du)(du)波動(dong)范(fan)圍的(de)要(yao)求越(yue)來(lai)(lai)越(yue)小。例(li)如在大規模集(ji)成(cheng)電路生(sheng)(sheng)產的(de)光(guang)刻曝光(guang)工(gong)(gong)藝(yi)中，作(zuo)(zuo)為(wei)掩膜板材料的(de)玻(bo)璃與硅片的(de)熱膨脹系數的(de)差要(yao)求越(yue)來(lai)(lai)越(yue)小。直徑100 um的(de)硅片，溫度(du)(du)上(shang)升1度(du)(du)，就引起(qi)了(le)0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度(du)(du)的(de)恒溫，同(tong)時要(yao)求濕(shi)(shi)度(du)(du)值一般(ban)較低，因為(wei)人出汗以后，對(dui)(dui)(dui)產品將(jiang)有污(wu)染，特別是(shi)怕鈉的(de)半導(dao)體(ti)車間，這種車間溫度(du)(du)不宜(yi)超(chao)過25度(du)(du)，濕(shi)(shi)度(du)(du)過高產生(sheng)(sheng)的(de)問題更多。相(xiang)(xiang)對(dui)(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)超(chao)過55%時，冷卻水管壁上(shang)會結(jie)露，如果發生(sheng)(sheng)在精(jing)密(mi)裝置或(huo)電路中，就會引起(qi)各種事故。相(xiang)(xiang)對(dui)(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)在50%時易生(sheng)(sheng)銹。此外，濕(shi)(shi)度(du)(du)太高時將(jiang)通過空氣(qi)中的(de)水分子(zi)把硅片表(biao)面(mian)粘著的(de)灰(hui)塵化學吸附在表(biao)面(mian)難(nan)以清除(chu)。相(xiang)(xiang)對(dui)(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)越(yue)高,粘附的(de)越(yue)難(nan)去掉，但(dan)當相(xiang)(xiang)對(dui)(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)低于(yu)30%時，又(you)由于(yu)靜電力的(de)作(zuo)(zuo)用使粒子(zi)也(ye)容易吸附于(yu)表(biao)面(mian)，同(tong)時大量半導(dao)體(ti)器件(jian)容易發生(sheng)(sheng)擊穿(chuan)。對(dui)(dui)(dui)于(yu)硅片生(sheng)(sheng)產濕(shi)(shi)度(du)(du)范(fan)圍為(wei)35—45%。