潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體工(gong)藝(yi)對(dui)溫度(du)(du)(du)(du)(du)(du)的(de)要(yao)求以(yi)后還(huan)要(yao)列(lie)舉，但作為(wei)(wei)總的(de)原(yuan)則看，由于(yu)(yu)加工(gong)精度(du)(du)(du)(du)(du)(du)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)精細，所以(yi)對(dui)溫度(du)(du)(du)(du)(du)(du)波動范圍(wei)的(de)要(yao)求越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)小。例如在大規模(mo)集成電路(lu)生(sheng)(sheng)產的(de)光刻(ke)曝(pu)光工(gong)藝(yi)中，作為(wei)(wei)掩膜板(ban)材料的(de)玻璃與硅片的(de)熱膨脹系數的(de)差要(yao)求越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)小。直徑100 um的(de)硅片，溫度(du)(du)(du)(du)(du)(du)上(shang)升1度(du)(du)(du)(du)(du)(du)，就(jiu)(jiu)引起(qi)了0.24um線性膨脹，所以(yi)必(bi)須有±0.1度(du)(du)(du)(du)(du)(du)的(de)恒溫，同時(shi)要(yao)求濕度(du)(du)(du)(du)(du)(du)值一般(ban)較(jiao)低，因為(wei)(wei)人出汗以(yi)后，對(dui)產品將有污染，特別是怕(pa)鈉的(de)半(ban)導體車間(jian)，這種(zhong)車間(jian)溫度(du)(du)(du)(du)(du)(du)不宜超(chao)過25度(du)(du)(du)(du)(du)(du)，濕度(du)(du)(du)(du)(du)(du)過高產生(sheng)(sheng)的(de)問題(ti)更多(duo)。相(xiang)對(dui)濕度(du)(du)(du)(du)(du)(du)超(chao)過55%時(shi)，冷卻水(shui)管壁上(shang)會結露(lu)，如果發生(sheng)(sheng)在精密裝(zhuang)置(zhi)或電路(lu)中，就(jiu)(jiu)會引起(qi)各種(zhong)事故(gu)。相(xiang)對(dui)濕度(du)(du)(du)(du)(du)(du)在50%時(shi)易生(sheng)(sheng)銹。此外(wai)，濕度(du)(du)(du)(du)(du)(du)太(tai)高時(shi)將通(tong)過空氣中的(de)水(shui)分子(zi)把硅片表面(mian)粘(zhan)著的(de)灰塵化學吸(xi)附在表面(mian)難以(yi)清除。相(xiang)對(dui)濕度(du)(du)(du)(du)(du)(du)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)高,粘(zhan)附的(de)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)難去掉，但當(dang)相(xiang)對(dui)濕度(du)(du)(du)(du)(du)(du)低于(yu)(yu)30%時(shi)，又由于(yu)(yu)靜電力的(de)作用使粒子(zi)也容易吸(xi)附于(yu)(yu)表面(mian)，同時(shi)大量半(ban)導體器(qi)件容易發生(sheng)(sheng)擊穿。對(dui)于(yu)(yu)硅片生(sheng)(sheng)產濕度(du)(du)(du)(du)(du)(du)范圍(wei)為(wei)(wei)35—45%。