潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體(ti)(ti)工(gong)(gong)藝對(dui)溫(wen)(wen)度(du)(du)的(de)(de)(de)要(yao)(yao)求以(yi)后還要(yao)(yao)列舉，但作(zuo)(zuo)為(wei)(wei)總的(de)(de)(de)原則看，由(you)于(yu)(yu)加工(gong)(gong)精度(du)(du)越(yue)(yue)來越(yue)(yue)精細，所以(yi)對(dui)溫(wen)(wen)度(du)(du)波動范(fan)圍的(de)(de)(de)要(yao)(yao)求越(yue)(yue)來越(yue)(yue)小。例如(ru)在大(da)規模集成電(dian)路(lu)生(sheng)產(chan)的(de)(de)(de)光刻曝光工(gong)(gong)藝中，作(zuo)(zuo)為(wei)(wei)掩膜板材料的(de)(de)(de)玻璃與(yu)硅(gui)片(pian)的(de)(de)(de)熱膨脹(zhang)系(xi)數的(de)(de)(de)差(cha)要(yao)(yao)求越(yue)(yue)來越(yue)(yue)小。直(zhi)徑100 um的(de)(de)(de)硅(gui)片(pian)，溫(wen)(wen)度(du)(du)上(shang)升1度(du)(du)，就引(yin)起了0.24um線性膨脹(zhang)，所以(yi)必須有(you)±0.1度(du)(du)的(de)(de)(de)恒溫(wen)(wen)，同時(shi)(shi)要(yao)(yao)求濕(shi)度(du)(du)值一(yi)般(ban)較低(di)，因為(wei)(wei)人出汗以(yi)后，對(dui)產(chan)品(pin)將有(you)污染，特別是怕(pa)鈉的(de)(de)(de)半導(dao)體(ti)(ti)車(che)間，這種(zhong)車(che)間溫(wen)(wen)度(du)(du)不宜超過(guo)25度(du)(du)，濕(shi)度(du)(du)過(guo)高產(chan)生(sheng)的(de)(de)(de)問(wen)題更多(duo)。相對(dui)濕(shi)度(du)(du)超過(guo)55%時(shi)(shi)，冷卻水管壁上(shang)會結(jie)露，如(ru)果發生(sheng)在精密裝(zhuang)置或電(dian)路(lu)中，就會引(yin)起各種(zhong)事故(gu)。相對(dui)濕(shi)度(du)(du)在50%時(shi)(shi)易(yi)生(sheng)銹。此外，濕(shi)度(du)(du)太高時(shi)(shi)將通過(guo)空氣中的(de)(de)(de)水分子(zi)把硅(gui)片(pian)表(biao)面粘(zhan)著的(de)(de)(de)灰塵化(hua)學吸附(fu)(fu)在表(biao)面難以(yi)清除(chu)。相對(dui)濕(shi)度(du)(du)越(yue)(yue)高,粘(zhan)附(fu)(fu)的(de)(de)(de)越(yue)(yue)難去掉(diao)，但當相對(dui)濕(shi)度(du)(du)低(di)于(yu)(yu)30%時(shi)(shi)，又由(you)于(yu)(yu)靜電(dian)力的(de)(de)(de)作(zuo)(zuo)用使(shi)粒子(zi)也容(rong)易(yi)吸附(fu)(fu)于(yu)(yu)表(biao)面，同時(shi)(shi)大(da)量半導(dao)體(ti)(ti)器件容(rong)易(yi)發生(sheng)擊(ji)穿。對(dui)于(yu)(yu)硅(gui)片(pian)生(sheng)產(chan)濕(shi)度(du)(du)范(fan)圍為(wei)(wei)35—45%。