潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體(ti)(ti)工(gong)(gong)(gong)藝對(dui)(dui)溫度(du)(du)的(de)(de)(de)要求(qiu)以后(hou)還要列舉，但作(zuo)為總的(de)(de)(de)原則看，由于(yu)(yu)加工(gong)(gong)(gong)精度(du)(du)越(yue)來越(yue)精細，所以對(dui)(dui)溫度(du)(du)波動范圍的(de)(de)(de)要求(qiu)越(yue)來越(yue)小(xiao)。例如在(zai)(zai)(zai)大規(gui)模集成電路(lu)生(sheng)產(chan)的(de)(de)(de)光(guang)刻曝光(guang)工(gong)(gong)(gong)藝中，作(zuo)為掩膜板材料的(de)(de)(de)玻璃(li)與(yu)硅(gui)片(pian)的(de)(de)(de)熱膨脹系數(shu)的(de)(de)(de)差要求(qiu)越(yue)來越(yue)小(xiao)。直徑(jing)100 um的(de)(de)(de)硅(gui)片(pian)，溫度(du)(du)上升(sheng)1度(du)(du)，就(jiu)引起了(le)0.24um線性膨脹，所以必須(xu)有±0.1度(du)(du)的(de)(de)(de)恒溫，同時(shi)要求(qiu)濕度(du)(du)值一(yi)般較低，因(yin)為人出汗以后(hou)，對(dui)(dui)產(chan)品(pin)將有污染，特別是怕鈉的(de)(de)(de)半(ban)導(dao)體(ti)(ti)車(che)間，這種車(che)間溫度(du)(du)不宜超過(guo)(guo)25度(du)(du)，濕度(du)(du)過(guo)(guo)高產(chan)生(sheng)的(de)(de)(de)問題(ti)更(geng)多。相對(dui)(dui)濕度(du)(du)超過(guo)(guo)55%時(shi)，冷卻水管壁上會結露，如果發生(sheng)在(zai)(zai)(zai)精密裝置或電路(lu)中，就(jiu)會引起各種事(shi)故(gu)。相對(dui)(dui)濕度(du)(du)在(zai)(zai)(zai)50%時(shi)易(yi)生(sheng)銹(xiu)。此(ci)外，濕度(du)(du)太高時(shi)將通(tong)過(guo)(guo)空氣中的(de)(de)(de)水分子把硅(gui)片(pian)表(biao)面粘著的(de)(de)(de)灰塵化學吸(xi)附在(zai)(zai)(zai)表(biao)面難(nan)以清除。相對(dui)(dui)濕度(du)(du)越(yue)高,粘附的(de)(de)(de)越(yue)難(nan)去掉，但當相對(dui)(dui)濕度(du)(du)低于(yu)(yu)30%時(shi)，又(you)由于(yu)(yu)靜電力的(de)(de)(de)作(zuo)用(yong)使粒子也容易(yi)吸(xi)附于(yu)(yu)表(biao)面，同時(shi)大量半(ban)導(dao)體(ti)(ti)器(qi)件容易(yi)發生(sheng)擊穿。對(dui)(dui)于(yu)(yu)硅(gui)片(pian)生(sheng)產(chan)濕度(du)(du)范圍為35—45%。