潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體工藝對(dui)(dui)溫度(du)(du)的(de)要(yao)求(qiu)以后(hou)還要(yao)列舉，但作(zuo)(zuo)為(wei)總的(de)原則(ze)看，由于加工精度(du)(du)越來越精細，所以對(dui)(dui)溫度(du)(du)波動范圍(wei)(wei)的(de)要(yao)求(qiu)越來越小。例如在大規模集成電路(lu)生(sheng)(sheng)產(chan)的(de)光(guang)刻曝(pu)光(guang)工藝中(zhong)，作(zuo)(zuo)為(wei)掩膜板材料的(de)玻璃與硅(gui)片的(de)熱膨(peng)脹(zhang)系數的(de)差要(yao)求(qiu)越來越小。直徑100 um的(de)硅(gui)片，溫度(du)(du)上(shang)升1度(du)(du)，就引起了0.24um線性膨(peng)脹(zhang)，所以必須(xu)有±0.1度(du)(du)的(de)恒溫，同時要(yao)求(qiu)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)值一(yi)般較低(di)，因為(wei)人出汗以后(hou)，對(dui)(dui)產(chan)品將有污染，特別是怕鈉的(de)半(ban)導(dao)體車(che)間(jian)，這種車(che)間(jian)溫度(du)(du)不宜超(chao)過25度(du)(du)，濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)過高產(chan)生(sheng)(sheng)的(de)問題更多(duo)。相對(dui)(dui)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)超(chao)過55%時，冷卻水管壁上(shang)會結露，如果(guo)發生(sheng)(sheng)在精密裝(zhuang)置或電路(lu)中(zhong)，就會引起各種事故(gu)。相對(dui)(dui)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)在50%時易(yi)生(sheng)(sheng)銹。此外，濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)太高時將通過空氣中(zhong)的(de)水分(fen)子把硅(gui)片表面(mian)粘(zhan)著(zhu)的(de)灰(hui)塵(chen)化(hua)學吸附(fu)在表面(mian)難以清除。相對(dui)(dui)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)越高,粘(zhan)附(fu)的(de)越難去掉，但當(dang)相對(dui)(dui)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)低(di)于30%時，又由于靜電力的(de)作(zuo)(zuo)用使粒子也容易(yi)吸附(fu)于表面(mian)，同時大量半(ban)導(dao)體器(qi)件容易(yi)發生(sheng)(sheng)擊穿。對(dui)(dui)于硅(gui)片生(sheng)(sheng)產(chan)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)范圍(wei)(wei)為(wei)35—45%。