潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體工藝對(dui)(dui)溫(wen)(wen)度(du)(du)的(de)(de)要(yao)(yao)求以(yi)(yi)后還要(yao)(yao)列舉(ju)，但作為(wei)總(zong)的(de)(de)原則看，由于(yu)加(jia)工精度(du)(du)越(yue)來越(yue)精細，所以(yi)(yi)對(dui)(dui)溫(wen)(wen)度(du)(du)波動(dong)范(fan)圍的(de)(de)要(yao)(yao)求越(yue)來越(yue)小(xiao)。例如(ru)在(zai)(zai)大規模集(ji)成電(dian)(dian)路生(sheng)產的(de)(de)光刻曝光工藝中(zhong)(zhong)，作為(wei)掩膜(mo)板(ban)材(cai)料的(de)(de)玻璃與硅(gui)(gui)片(pian)的(de)(de)熱膨(peng)脹系(xi)數的(de)(de)差(cha)要(yao)(yao)求越(yue)來越(yue)小(xiao)。直徑(jing)100 um的(de)(de)硅(gui)(gui)片(pian)，溫(wen)(wen)度(du)(du)上升(sheng)1度(du)(du)，就引起了0.24um線性膨(peng)脹，所以(yi)(yi)必須有±0.1度(du)(du)的(de)(de)恒溫(wen)(wen)，同(tong)時要(yao)(yao)求濕度(du)(du)值一般較低(di)，因為(wei)人出汗(han)以(yi)(yi)后，對(dui)(dui)產品將有污染，特別是怕鈉的(de)(de)半導(dao)體車間，這種車間溫(wen)(wen)度(du)(du)不宜超(chao)過25度(du)(du)，濕度(du)(du)過高(gao)產生(sheng)的(de)(de)問題更多。相對(dui)(dui)濕度(du)(du)超(chao)過55%時，冷卻水管壁上會(hui)結露(lu)，如(ru)果(guo)發(fa)生(sheng)在(zai)(zai)精密裝置(zhi)或(huo)電(dian)(dian)路中(zhong)(zhong)，就會(hui)引起各種事故。相對(dui)(dui)濕度(du)(du)在(zai)(zai)50%時易(yi)生(sheng)銹。此外(wai)，濕度(du)(du)太(tai)高(gao)時將通過空氣中(zhong)(zhong)的(de)(de)水分子(zi)把硅(gui)(gui)片(pian)表面(mian)粘著的(de)(de)灰塵化學吸附在(zai)(zai)表面(mian)難(nan)以(yi)(yi)清除。相對(dui)(dui)濕度(du)(du)越(yue)高(gao),粘附的(de)(de)越(yue)難(nan)去掉，但當相對(dui)(dui)濕度(du)(du)低(di)于(yu)30%時，又(you)由于(yu)靜電(dian)(dian)力的(de)(de)作用使粒子(zi)也(ye)容易(yi)吸附于(yu)表面(mian)，同(tong)時大量半導(dao)體器(qi)件容易(yi)發(fa)生(sheng)擊穿。對(dui)(dui)于(yu)硅(gui)(gui)片(pian)生(sheng)產濕度(du)(du)范(fan)圍為(wei)35—45%。