潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具(ju)體工(gong)(gong)藝對溫(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)求(qiu)(qiu)以后還(huan)要(yao)列(lie)舉，但作為(wei)(wei)總的(de)(de)(de)(de)(de)(de)原則看，由于(yu)(yu)加工(gong)(gong)精(jing)(jing)度(du)(du)(du)(du)(du)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)來越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)精(jing)(jing)細(xi)，所以對溫(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)波動(dong)范圍的(de)(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)求(qiu)(qiu)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)來越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)小。例如在大規模(mo)集(ji)成電(dian)路生產的(de)(de)(de)(de)(de)(de)光刻曝光工(gong)(gong)藝中，作為(wei)(wei)掩膜板材料的(de)(de)(de)(de)(de)(de)玻璃與硅片(pian)(pian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)熱膨脹(zhang)系數的(de)(de)(de)(de)(de)(de)差要(yao)求(qiu)(qiu)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)來越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)小。直徑100 um的(de)(de)(de)(de)(de)(de)硅片(pian)(pian)，溫(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)上(shang)升1度(du)(du)(du)(du)(du)，就引起(qi)(qi)了(le)0.24um線性膨脹(zhang)，所以必須有(you)±0.1度(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)恒溫(wen)，同時(shi)要(yao)求(qiu)(qiu)濕度(du)(du)(du)(du)(du)值一(yi)般(ban)較低，因(yin)為(wei)(wei)人出汗(han)以后，對產品將有(you)污染，特別是怕(pa)鈉的(de)(de)(de)(de)(de)(de)半(ban)導(dao)體車間(jian)，這(zhe)種車間(jian)溫(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)不宜超過25度(du)(du)(du)(du)(du)，濕度(du)(du)(du)(du)(du)過高(gao)產生的(de)(de)(de)(de)(de)(de)問(wen)題更多。相(xiang)對濕度(du)(du)(du)(du)(du)超過55%時(shi)，冷卻(que)水(shui)(shui)管壁上(shang)會結露，如果發生在精(jing)(jing)密裝置或電(dian)路中，就會引起(qi)(qi)各(ge)種事故。相(xiang)對濕度(du)(du)(du)(du)(du)在50%時(shi)易(yi)生銹。此外，濕度(du)(du)(du)(du)(du)太高(gao)時(shi)將通過空氣中的(de)(de)(de)(de)(de)(de)水(shui)(shui)分子把硅片(pian)(pian)表面粘著的(de)(de)(de)(de)(de)(de)灰塵化學吸附(fu)在表面難(nan)以清除。相(xiang)對濕度(du)(du)(du)(du)(du)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)高(gao),粘附(fu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)越(yue)(yue)(yue)(yue)(yue)難(nan)去掉，但當相(xiang)對濕度(du)(du)(du)(du)(du)低于(yu)(yu)30%時(shi)，又由于(yu)(yu)靜電(dian)力(li)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)作用使(shi)粒子也容易(yi)吸附(fu)于(yu)(yu)表面，同時(shi)大量半(ban)導(dao)體器(qi)件容易(yi)發生擊穿。對于(yu)(yu)硅片(pian)(pian)生產濕度(du)(du)(du)(du)(du)范圍為(wei)(wei)35—45%。