潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體工(gong)藝對(dui)溫度(du)(du)(du)(du)的(de)要(yao)(yao)求(qiu)以(yi)后還要(yao)(yao)列(lie)舉，但作(zuo)為(wei)總的(de)原則(ze)看，由(you)于(yu)加(jia)工(gong)精(jing)度(du)(du)(du)(du)越來(lai)越精(jing)細，所以(yi)對(dui)溫度(du)(du)(du)(du)波動范(fan)圍(wei)的(de)要(yao)(yao)求(qiu)越來(lai)越小。例如(ru)在(zai)大(da)規模集成電(dian)路(lu)(lu)生(sheng)(sheng)產(chan)的(de)光刻曝光工(gong)藝中(zhong)(zhong)，作(zuo)為(wei)掩(yan)膜(mo)板材料的(de)玻璃與硅片(pian)的(de)熱膨脹系(xi)數的(de)差要(yao)(yao)求(qiu)越來(lai)越小。直徑100 um的(de)硅片(pian)，溫度(du)(du)(du)(du)上升1度(du)(du)(du)(du)，就引(yin)起了(le)0.24um線性膨脹，所以(yi)必須有±0.1度(du)(du)(du)(du)的(de)恒溫，同時要(yao)(yao)求(qiu)濕度(du)(du)(du)(du)值(zhi)一般較低(di)，因為(wei)人(ren)出(chu)汗以(yi)后，對(dui)產(chan)品將有污染，特(te)別是怕鈉的(de)半導體車間，這種(zhong)車間溫度(du)(du)(du)(du)不(bu)宜超(chao)(chao)過25度(du)(du)(du)(du)，濕度(du)(du)(du)(du)過高產(chan)生(sheng)(sheng)的(de)問(wen)題(ti)更多。相(xiang)對(dui)濕度(du)(du)(du)(du)超(chao)(chao)過55%時，冷卻水(shui)管壁上會結(jie)露，如(ru)果發生(sheng)(sheng)在(zai)精(jing)密裝(zhuang)置或電(dian)路(lu)(lu)中(zhong)(zhong)，就會引(yin)起各種(zhong)事故。相(xiang)對(dui)濕度(du)(du)(du)(du)在(zai)50%時易(yi)生(sheng)(sheng)銹。此外(wai)，濕度(du)(du)(du)(du)太高時將通過空氣中(zhong)(zhong)的(de)水(shui)分子把硅片(pian)表(biao)面(mian)(mian)粘著的(de)灰塵化(hua)學吸附在(zai)表(biao)面(mian)(mian)難以(yi)清除。相(xiang)對(dui)濕度(du)(du)(du)(du)越高,粘附的(de)越難去掉，但當相(xiang)對(dui)濕度(du)(du)(du)(du)低(di)于(yu)30%時，又由(you)于(yu)靜電(dian)力的(de)作(zuo)用使粒子也(ye)容易(yi)吸附于(yu)表(biao)面(mian)(mian)，同時大(da)量半導體器件容易(yi)發生(sheng)(sheng)擊穿。對(dui)于(yu)硅片(pian)生(sheng)(sheng)產(chan)濕度(du)(du)(du)(du)范(fan)圍(wei)為(wei)35—45%。