潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具(ju)體工藝對(dui)溫(wen)度(du)(du)的(de)(de)要(yao)求(qiu)(qiu)以(yi)(yi)后(hou)還要(yao)列舉，但(dan)(dan)作為(wei)總的(de)(de)原則看，由(you)于加(jia)工精度(du)(du)越(yue)來(lai)越(yue)精細(xi)，所以(yi)(yi)對(dui)溫(wen)度(du)(du)波動范(fan)圍的(de)(de)要(yao)求(qiu)(qiu)越(yue)來(lai)越(yue)小(xiao)。例(li)如(ru)在(zai)(zai)大(da)規模集成(cheng)電路(lu)生(sheng)(sheng)(sheng)產的(de)(de)光刻(ke)曝光工藝中，作為(wei)掩膜板材料(liao)的(de)(de)玻璃與硅片(pian)的(de)(de)熱膨(peng)脹系數的(de)(de)差(cha)要(yao)求(qiu)(qiu)越(yue)來(lai)越(yue)小(xiao)。直徑100 um的(de)(de)硅片(pian)，溫(wen)度(du)(du)上(shang)升1度(du)(du)，就引起了0.24um線性膨(peng)脹，所以(yi)(yi)必須有±0.1度(du)(du)的(de)(de)恒溫(wen)，同(tong)時要(yao)求(qiu)(qiu)濕(shi)度(du)(du)值一般較低，因為(wei)人出汗(han)以(yi)(yi)后(hou)，對(dui)產品將有污染，特別是怕鈉(na)的(de)(de)半(ban)導(dao)體車間(jian)(jian)，這(zhe)種(zhong)(zhong)車間(jian)(jian)溫(wen)度(du)(du)不(bu)宜超過25度(du)(du)，濕(shi)度(du)(du)過高產生(sheng)(sheng)(sheng)的(de)(de)問題更多。相(xiang)(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)超過55%時，冷卻水管壁上(shang)會(hui)結(jie)露，如(ru)果發(fa)生(sheng)(sheng)(sheng)在(zai)(zai)精密裝置或(huo)電路(lu)中，就會(hui)引起各種(zhong)(zhong)事故(gu)。相(xiang)(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)在(zai)(zai)50%時易(yi)生(sheng)(sheng)(sheng)銹。此(ci)外，濕(shi)度(du)(du)太高時將通過空氣中的(de)(de)水分子把硅片(pian)表面(mian)粘著的(de)(de)灰塵化學吸附(fu)在(zai)(zai)表面(mian)難以(yi)(yi)清除。相(xiang)(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)越(yue)高,粘附(fu)的(de)(de)越(yue)難去掉，但(dan)(dan)當相(xiang)(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)低于30%時，又由(you)于靜(jing)電力的(de)(de)作用使粒子也容易(yi)吸附(fu)于表面(mian)，同(tong)時大(da)量半(ban)導(dao)體器(qi)件容易(yi)發(fa)生(sheng)(sheng)(sheng)擊穿。對(dui)于硅片(pian)生(sheng)(sheng)(sheng)產濕(shi)度(du)(du)范(fan)圍為(wei)35—45%。