潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體(ti)工(gong)藝(yi)對(dui)(dui)溫度(du)(du)的(de)(de)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)以(yi)后還要(yao)(yao)列舉，但(dan)作(zuo)為(wei)(wei)總的(de)(de)原則看(kan)，由于(yu)加工(gong)精度(du)(du)越(yue)來(lai)越(yue)精細，所以(yi)對(dui)(dui)溫度(du)(du)波動范圍的(de)(de)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)越(yue)來(lai)越(yue)小。例如(ru)在(zai)大規(gui)模集成電(dian)路(lu)生產(chan)的(de)(de)光(guang)刻曝光(guang)工(gong)藝(yi)中，作(zuo)為(wei)(wei)掩(yan)膜板材(cai)料的(de)(de)玻璃與硅片的(de)(de)熱膨脹(zhang)(zhang)系數的(de)(de)差要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)越(yue)來(lai)越(yue)小。直徑100 um的(de)(de)硅片，溫度(du)(du)上升1度(du)(du)，就(jiu)引(yin)起了0.24um線性膨脹(zhang)(zhang)，所以(yi)必須有±0.1度(du)(du)的(de)(de)恒溫，同時(shi)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)濕(shi)(shi)度(du)(du)值(zhi)一般(ban)較低(di)，因為(wei)(wei)人出汗(han)以(yi)后，對(dui)(dui)產(chan)品將有污(wu)染(ran)，特別是怕鈉的(de)(de)半(ban)導體(ti)車間，這種車間溫度(du)(du)不宜超過25度(du)(du)，濕(shi)(shi)度(du)(du)過高產(chan)生的(de)(de)問題更多(duo)。相對(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)超過55%時(shi)，冷卻水(shui)管壁上會結露，如(ru)果發(fa)生在(zai)精密裝(zhuang)置(zhi)或(huo)電(dian)路(lu)中，就(jiu)會引(yin)起各種事故。相對(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)在(zai)50%時(shi)易生銹(xiu)。此外，濕(shi)(shi)度(du)(du)太(tai)高時(shi)將通過空(kong)氣中的(de)(de)水(shui)分子把硅片表面(mian)(mian)粘著的(de)(de)灰塵化學吸附在(zai)表面(mian)(mian)難以(yi)清除(chu)。相對(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)越(yue)高,粘附的(de)(de)越(yue)難去掉，但(dan)當相對(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)低(di)于(yu)30%時(shi)，又由于(yu)靜電(dian)力(li)的(de)(de)作(zuo)用使(shi)粒子也容易吸附于(yu)表面(mian)(mian)，同時(shi)大量半(ban)導體(ti)器件容易發(fa)生擊穿。對(dui)(dui)于(yu)硅片生產(chan)濕(shi)(shi)度(du)(du)范圍為(wei)(wei)35—45%。