潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具(ju)體(ti)(ti)工藝對(dui)(dui)溫度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)要(yao)求以(yi)后(hou)還要(yao)列舉，但作(zuo)為(wei)總(zong)的(de)(de)(de)原則看，由于(yu)加工精(jing)度(du)(du)(du)越(yue)來(lai)越(yue)精(jing)細(xi)，所以(yi)對(dui)(dui)溫度(du)(du)(du)波動(dong)范(fan)圍(wei)的(de)(de)(de)要(yao)求越(yue)來(lai)越(yue)小。例如在(zai)大規(gui)模集成電路(lu)生(sheng)(sheng)產(chan)的(de)(de)(de)光刻曝光工藝中，作(zuo)為(wei)掩膜板材料的(de)(de)(de)玻璃與硅片(pian)的(de)(de)(de)熱膨脹系數的(de)(de)(de)差要(yao)求越(yue)來(lai)越(yue)小。直徑100 um的(de)(de)(de)硅片(pian)，溫度(du)(du)(du)上(shang)升1度(du)(du)(du)，就(jiu)引(yin)(yin)起了0.24um線性膨脹，所以(yi)必(bi)須有(you)±0.1度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)恒溫，同時要(yao)求濕度(du)(du)(du)值一般較低(di)(di)，因(yin)為(wei)人出汗(han)以(yi)后(hou)，對(dui)(dui)產(chan)品(pin)將有(you)污染，特別是怕鈉的(de)(de)(de)半(ban)導體(ti)(ti)車間(jian)，這種(zhong)車間(jian)溫度(du)(du)(du)不宜超過(guo)25度(du)(du)(du)，濕度(du)(du)(du)過(guo)高(gao)(gao)產(chan)生(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)問題更多。相對(dui)(dui)濕度(du)(du)(du)超過(guo)55%時，冷卻水管壁上(shang)會結露，如果發(fa)生(sheng)(sheng)在(zai)精(jing)密裝置(zhi)或(huo)電路(lu)中，就(jiu)會引(yin)(yin)起各種(zhong)事故。相對(dui)(dui)濕度(du)(du)(du)在(zai)50%時易生(sheng)(sheng)銹。此外，濕度(du)(du)(du)太(tai)高(gao)(gao)時將通過(guo)空氣(qi)中的(de)(de)(de)水分(fen)子(zi)把硅片(pian)表面粘著的(de)(de)(de)灰塵化學吸(xi)附(fu)在(zai)表面難以(yi)清除。相對(dui)(dui)濕度(du)(du)(du)越(yue)高(gao)(gao),粘附(fu)的(de)(de)(de)越(yue)難去掉，但當相對(dui)(dui)濕度(du)(du)(du)低(di)(di)于(yu)30%時，又由于(yu)靜電力的(de)(de)(de)作(zuo)用使粒子(zi)也容(rong)易吸(xi)附(fu)于(yu)表面，同時大量(liang)半(ban)導體(ti)(ti)器件容(rong)易發(fa)生(sheng)(sheng)擊穿。對(dui)(dui)于(yu)硅片(pian)生(sheng)(sheng)產(chan)濕度(du)(du)(du)范(fan)圍(wei)為(wei)35—45%。