潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體(ti)工(gong)藝(yi)對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)溫度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)要(yao)(yao)求(qiu)以(yi)后(hou)還要(yao)(yao)列舉(ju)，但(dan)作為(wei)(wei)總的(de)(de)(de)(de)原則看，由(you)于(yu)(yu)加工(gong)精度(du)(du)越(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)精細，所以(yi)對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)溫度(du)(du)波動范圍(wei)的(de)(de)(de)(de)要(yao)(yao)求(qiu)越(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)小。例如在大規模集成電(dian)路(lu)生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)的(de)(de)(de)(de)光刻曝光工(gong)藝(yi)中，作為(wei)(wei)掩膜板材料的(de)(de)(de)(de)玻璃與硅片(pian)(pian)的(de)(de)(de)(de)熱膨脹(zhang)系數的(de)(de)(de)(de)差要(yao)(yao)求(qiu)越(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)小。直(zhi)徑100 um的(de)(de)(de)(de)硅片(pian)(pian)，溫度(du)(du)上(shang)升1度(du)(du)，就引(yin)起(qi)了0.24um線性膨脹(zhang)，所以(yi)必須(xu)有±0.1度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)恒(heng)溫，同時要(yao)(yao)求(qiu)濕(shi)度(du)(du)值一般較低，因為(wei)(wei)人出汗以(yi)后(hou)，對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)產(chan)(chan)品將有污(wu)染，特(te)別是怕鈉的(de)(de)(de)(de)半(ban)(ban)導體(ti)車(che)間，這(zhe)種車(che)間溫度(du)(du)不宜超(chao)過25度(du)(du)，濕(shi)度(du)(du)過高(gao)產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)(de)問題更多。相對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)超(chao)過55%時，冷卻(que)水(shui)管壁上(shang)會結露，如果發生(sheng)(sheng)在精密(mi)裝置或(huo)電(dian)路(lu)中，就會引(yin)起(qi)各種事故。相對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)在50%時易(yi)(yi)生(sheng)(sheng)銹(xiu)。此外(wai)，濕(shi)度(du)(du)太高(gao)時將通過空氣中的(de)(de)(de)(de)水(shui)分子把硅片(pian)(pian)表面粘著的(de)(de)(de)(de)灰塵化學吸附在表面難(nan)以(yi)清除(chu)。相對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)越(yue)(yue)高(gao),粘附的(de)(de)(de)(de)越(yue)(yue)難(nan)去掉，但(dan)當相對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)低于(yu)(yu)30%時，又由(you)于(yu)(yu)靜電(dian)力的(de)(de)(de)(de)作用(yong)使粒子也容易(yi)(yi)吸附于(yu)(yu)表面，同時大量半(ban)(ban)導體(ti)器件(jian)容易(yi)(yi)發生(sheng)(sheng)擊穿。對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)于(yu)(yu)硅片(pian)(pian)生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)濕(shi)度(du)(du)范圍(wei)為(wei)(wei)35—45%。