潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體(ti)工(gong)藝對(dui)溫(wen)度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)要(yao)(yao)(yao)求(qiu)以(yi)后還要(yao)(yao)(yao)列舉，但作為總的(de)(de)(de)(de)原則看，由(you)于(yu)(yu)加(jia)工(gong)精(jing)度(du)(du)越(yue)來越(yue)精(jing)細，所以(yi)對(dui)溫(wen)度(du)(du)波動范(fan)圍的(de)(de)(de)(de)要(yao)(yao)(yao)求(qiu)越(yue)來越(yue)小。例如(ru)在(zai)大規模集成電(dian)路生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)的(de)(de)(de)(de)光刻(ke)曝(pu)光工(gong)藝中，作為掩膜板材料的(de)(de)(de)(de)玻璃與硅片(pian)的(de)(de)(de)(de)熱膨脹系數的(de)(de)(de)(de)差要(yao)(yao)(yao)求(qiu)越(yue)來越(yue)小。直(zhi)徑100 um的(de)(de)(de)(de)硅片(pian)，溫(wen)度(du)(du)上(shang)升1度(du)(du)，就引起了0.24um線(xian)性膨脹，所以(yi)必須有(you)±0.1度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)恒溫(wen)，同時(shi)(shi)要(yao)(yao)(yao)求(qiu)濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)值一般較(jiao)低，因為人出汗(han)以(yi)后，對(dui)產(chan)(chan)品將有(you)污染，特別是怕鈉的(de)(de)(de)(de)半(ban)導(dao)體(ti)車間，這種車間溫(wen)度(du)(du)不宜超(chao)過(guo)(guo)25度(du)(du)，濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)過(guo)(guo)高(gao)(gao)產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)(de)問題更多。相(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)超(chao)過(guo)(guo)55%時(shi)(shi)，冷卻水(shui)管(guan)壁上(shang)會(hui)結露(lu)，如(ru)果(guo)發生(sheng)(sheng)在(zai)精(jing)密裝置或電(dian)路中，就會(hui)引起各種事故。相(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)在(zai)50%時(shi)(shi)易(yi)生(sheng)(sheng)銹。此外，濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)太高(gao)(gao)時(shi)(shi)將通(tong)過(guo)(guo)空氣中的(de)(de)(de)(de)水(shui)分子(zi)把硅片(pian)表(biao)(biao)面(mian)粘著的(de)(de)(de)(de)灰(hui)塵(chen)化學吸(xi)附在(zai)表(biao)(biao)面(mian)難以(yi)清(qing)除。相(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)越(yue)高(gao)(gao),粘附的(de)(de)(de)(de)越(yue)難去掉，但當相(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)低于(yu)(yu)30%時(shi)(shi)，又由(you)于(yu)(yu)靜電(dian)力的(de)(de)(de)(de)作用使粒子(zi)也容(rong)易(yi)吸(xi)附于(yu)(yu)表(biao)(biao)面(mian)，同時(shi)(shi)大量(liang)半(ban)導(dao)體(ti)器件容(rong)易(yi)發生(sheng)(sheng)擊穿。對(dui)于(yu)(yu)硅片(pian)生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)范(fan)圍為35—45%。