潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體工(gong)(gong)藝對溫度(du)(du)(du)的(de)(de)要(yao)求(qiu)以后還要(yao)列(lie)舉(ju)，但作(zuo)(zuo)為總的(de)(de)原則看，由于加(jia)工(gong)(gong)精度(du)(du)(du)越來越精細，所以對溫度(du)(du)(du)波動范圍的(de)(de)要(yao)求(qiu)越來越小。例如(ru)在(zai)大規模集成(cheng)電(dian)(dian)路(lu)生(sheng)(sheng)產(chan)的(de)(de)光(guang)刻曝光(guang)工(gong)(gong)藝中(zhong)(zhong)，作(zuo)(zuo)為掩(yan)膜板材料(liao)的(de)(de)玻璃與硅(gui)(gui)片(pian)(pian)的(de)(de)熱膨脹(zhang)系數的(de)(de)差要(yao)求(qiu)越來越小。直徑100 um的(de)(de)硅(gui)(gui)片(pian)(pian)，溫度(du)(du)(du)上升1度(du)(du)(du)，就(jiu)引起(qi)了0.24um線(xian)性膨脹(zhang)，所以必須有±0.1度(du)(du)(du)的(de)(de)恒溫，同(tong)時(shi)(shi)要(yao)求(qiu)濕(shi)度(du)(du)(du)值一般較低，因為人出汗以后，對產(chan)品將(jiang)有污染，特別是怕鈉的(de)(de)半導體車間(jian)，這種車間(jian)溫度(du)(du)(du)不宜超過(guo)(guo)25度(du)(du)(du)，濕(shi)度(du)(du)(du)過(guo)(guo)高產(chan)生(sheng)(sheng)的(de)(de)問題更(geng)多。相(xiang)對濕(shi)度(du)(du)(du)超過(guo)(guo)55%時(shi)(shi)，冷卻(que)水管壁上會結(jie)露，如(ru)果發(fa)生(sheng)(sheng)在(zai)精密裝置或電(dian)(dian)路(lu)中(zhong)(zhong)，就(jiu)會引起(qi)各種事故。相(xiang)對濕(shi)度(du)(du)(du)在(zai)50%時(shi)(shi)易生(sheng)(sheng)銹。此外，濕(shi)度(du)(du)(du)太高時(shi)(shi)將(jiang)通過(guo)(guo)空氣中(zhong)(zhong)的(de)(de)水分子把硅(gui)(gui)片(pian)(pian)表(biao)面(mian)粘著的(de)(de)灰塵化學吸(xi)附(fu)在(zai)表(biao)面(mian)難以清除(chu)。相(xiang)對濕(shi)度(du)(du)(du)越高,粘附(fu)的(de)(de)越難去(qu)掉，但當(dang)相(xiang)對濕(shi)度(du)(du)(du)低于30%時(shi)(shi)，又由于靜(jing)電(dian)(dian)力的(de)(de)作(zuo)(zuo)用使粒子也容易吸(xi)附(fu)于表(biao)面(mian)，同(tong)時(shi)(shi)大量半導體器(qi)件容易發(fa)生(sheng)(sheng)擊(ji)穿。對于硅(gui)(gui)片(pian)(pian)生(sheng)(sheng)產(chan)濕(shi)度(du)(du)(du)范圍為35—45%。