潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體工(gong)藝(yi)對(dui)(dui)(dui)溫(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)以(yi)后還要(yao)(yao)列舉(ju)，但作(zuo)(zuo)為(wei)總的(de)(de)(de)原則(ze)看，由于加工(gong)精度(du)(du)(du)(du)越(yue)來越(yue)精細，所以(yi)對(dui)(dui)(dui)溫(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)波動范(fan)圍(wei)的(de)(de)(de)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)越(yue)來越(yue)小。例如在(zai)(zai)大(da)規(gui)模集成電路生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)的(de)(de)(de)光(guang)刻曝光(guang)工(gong)藝(yi)中(zhong)(zhong)，作(zuo)(zuo)為(wei)掩膜(mo)板材(cai)料(liao)的(de)(de)(de)玻(bo)璃與硅(gui)片(pian)(pian)的(de)(de)(de)熱(re)膨脹系數的(de)(de)(de)差要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)越(yue)來越(yue)小。直徑100 um的(de)(de)(de)硅(gui)片(pian)(pian)，溫(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)上升1度(du)(du)(du)(du)，就引起(qi)了0.24um線性膨脹，所以(yi)必須有±0.1度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)恒溫(wen)(wen)(wen)，同(tong)時(shi)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)值一般較(jiao)低，因(yin)為(wei)人出汗以(yi)后，對(dui)(dui)(dui)產(chan)(chan)品將有污染(ran)，特別是怕(pa)鈉的(de)(de)(de)半導(dao)體車間(jian)，這種車間(jian)溫(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)不宜超過(guo)(guo)25度(du)(du)(du)(du)，濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)過(guo)(guo)高產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)問題更多(duo)。相(xiang)對(dui)(dui)(dui)濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)超過(guo)(guo)55%時(shi)，冷卻水(shui)管(guan)壁上會結(jie)露(lu)，如果發生(sheng)(sheng)在(zai)(zai)精密(mi)裝置或電路中(zhong)(zhong)，就會引起(qi)各種事故。相(xiang)對(dui)(dui)(dui)濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)在(zai)(zai)50%時(shi)易生(sheng)(sheng)銹。此外，濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)太高時(shi)將通過(guo)(guo)空(kong)氣中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)水(shui)分子把硅(gui)片(pian)(pian)表面(mian)粘著的(de)(de)(de)灰(hui)塵化(hua)學吸附在(zai)(zai)表面(mian)難以(yi)清除。相(xiang)對(dui)(dui)(dui)濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)越(yue)高,粘附的(de)(de)(de)越(yue)難去(qu)掉，但當相(xiang)對(dui)(dui)(dui)濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)低于30%時(shi)，又由于靜電力的(de)(de)(de)作(zuo)(zuo)用使粒子也容易吸附于表面(mian)，同(tong)時(shi)大(da)量(liang)半導(dao)體器件容易發生(sheng)(sheng)擊穿。對(dui)(dui)(dui)于硅(gui)片(pian)(pian)生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)范(fan)圍(wei)為(wei)35—45%。