潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體工藝(yi)對(dui)(dui)溫度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)以(yi)(yi)后還要(yao)(yao)列舉，但作(zuo)為(wei)總的(de)(de)原則(ze)看，由(you)于加工精度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)越(yue)(yue)來越(yue)(yue)精細(xi)，所以(yi)(yi)對(dui)(dui)溫度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)波動范(fan)圍的(de)(de)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)越(yue)(yue)來越(yue)(yue)小。例如在(zai)(zai)(zai)大規模集(ji)成(cheng)電路生(sheng)(sheng)產(chan)的(de)(de)光刻曝(pu)光工藝(yi)中(zhong)，作(zuo)為(wei)掩膜板材料的(de)(de)玻璃(li)與硅(gui)片(pian)(pian)的(de)(de)熱膨脹系數的(de)(de)差要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)越(yue)(yue)來越(yue)(yue)小。直徑(jing)100 um的(de)(de)硅(gui)片(pian)(pian)，溫度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)上升1度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)，就(jiu)引起了(le)0.24um線(xian)性膨脹，所以(yi)(yi)必須有±0.1度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)恒溫，同時(shi)(shi)(shi)(shi)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)值一般較低，因為(wei)人出汗以(yi)(yi)后，對(dui)(dui)產(chan)品將有污染(ran)，特別是(shi)怕鈉(na)的(de)(de)半(ban)(ban)導體車間(jian)，這種車間(jian)溫度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)不宜超過25度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)，濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)過高(gao)產(chan)生(sheng)(sheng)的(de)(de)問題(ti)更多。相對(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)超過55%時(shi)(shi)(shi)(shi)，冷卻(que)水管壁上會結露，如果發生(sheng)(sheng)在(zai)(zai)(zai)精密(mi)裝(zhuang)置或電路中(zhong)，就(jiu)會引起各種事(shi)故。相對(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)在(zai)(zai)(zai)50%時(shi)(shi)(shi)(shi)易生(sheng)(sheng)銹。此外，濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)太高(gao)時(shi)(shi)(shi)(shi)將通過空氣中(zhong)的(de)(de)水分子(zi)把硅(gui)片(pian)(pian)表面(mian)粘著的(de)(de)灰塵(chen)化學(xue)吸附在(zai)(zai)(zai)表面(mian)難以(yi)(yi)清除。相對(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)越(yue)(yue)高(gao),粘附的(de)(de)越(yue)(yue)難去掉，但當(dang)相對(dui)(dui)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)低于30%時(shi)(shi)(shi)(shi)，又由(you)于靜電力(li)的(de)(de)作(zuo)用使粒子(zi)也容易吸附于表面(mian)，同時(shi)(shi)(shi)(shi)大量半(ban)(ban)導體器件容易發生(sheng)(sheng)擊穿。對(dui)(dui)于硅(gui)片(pian)(pian)生(sheng)(sheng)產(chan)濕(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)范(fan)圍為(wei)35—45%。