潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體(ti)(ti)工(gong)藝(yi)對(dui)(dui)溫(wen)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)要(yao)(yao)(yao)求(qiu)以(yi)后(hou)還要(yao)(yao)(yao)列(lie)舉，但作(zuo)為總的(de)(de)(de)(de)原則看(kan)，由于(yu)加工(gong)精(jing)度(du)(du)(du)(du)越(yue)來(lai)越(yue)精(jing)細，所(suo)以(yi)對(dui)(dui)溫(wen)度(du)(du)(du)(du)波動(dong)范圍(wei)的(de)(de)(de)(de)要(yao)(yao)(yao)求(qiu)越(yue)來(lai)越(yue)小。例(li)如在大規模(mo)集成電(dian)路(lu)生(sheng)(sheng)(sheng)產的(de)(de)(de)(de)光刻曝光工(gong)藝(yi)中，作(zuo)為掩膜(mo)板材料(liao)的(de)(de)(de)(de)玻璃與硅片(pian)(pian)的(de)(de)(de)(de)熱膨脹系數的(de)(de)(de)(de)差要(yao)(yao)(yao)求(qiu)越(yue)來(lai)越(yue)小。直徑100 um的(de)(de)(de)(de)硅片(pian)(pian)，溫(wen)度(du)(du)(du)(du)上升1度(du)(du)(du)(du)，就(jiu)引(yin)起(qi)了0.24um線性(xing)膨脹，所(suo)以(yi)必須有(you)±0.1度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)恒溫(wen)，同(tong)時(shi)(shi)(shi)要(yao)(yao)(yao)求(qiu)濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)值一般較低，因為人出汗以(yi)后(hou)，對(dui)(dui)產品將有(you)污染，特別是怕(pa)鈉的(de)(de)(de)(de)半導(dao)(dao)體(ti)(ti)車間，這種(zhong)車間溫(wen)度(du)(du)(du)(du)不宜超過(guo)25度(du)(du)(du)(du)，濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)過(guo)高(gao)(gao)產生(sheng)(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)(de)問(wen)題更多。相(xiang)對(dui)(dui)濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)超過(guo)55%時(shi)(shi)(shi)，冷卻水(shui)管壁上會結露，如果發(fa)生(sheng)(sheng)(sheng)在精(jing)密(mi)裝置或電(dian)路(lu)中，就(jiu)會引(yin)起(qi)各種(zhong)事故。相(xiang)對(dui)(dui)濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)在50%時(shi)(shi)(shi)易生(sheng)(sheng)(sheng)銹。此(ci)外，濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)太高(gao)(gao)時(shi)(shi)(shi)將通過(guo)空氣中的(de)(de)(de)(de)水(shui)分(fen)子(zi)把(ba)硅片(pian)(pian)表面粘著的(de)(de)(de)(de)灰塵化學吸(xi)附(fu)在表面難以(yi)清(qing)除。相(xiang)對(dui)(dui)濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)越(yue)高(gao)(gao),粘附(fu)的(de)(de)(de)(de)越(yue)難去掉，但當相(xiang)對(dui)(dui)濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)低于(yu)30%時(shi)(shi)(shi)，又由于(yu)靜電(dian)力的(de)(de)(de)(de)作(zuo)用(yong)使粒子(zi)也容易吸(xi)附(fu)于(yu)表面，同(tong)時(shi)(shi)(shi)大量半導(dao)(dao)體(ti)(ti)器件容易發(fa)生(sheng)(sheng)(sheng)擊穿。對(dui)(dui)于(yu)硅片(pian)(pian)生(sheng)(sheng)(sheng)產濕(shi)(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)范圍(wei)為35—45%。