潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具(ju)體工藝(yi)對(dui)(dui)溫(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)的(de)要(yao)求以后還要(yao)列舉(ju)，但(dan)作(zuo)為總的(de)原則看，由(you)于(yu)加工精度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)越來(lai)越精細，所(suo)以對(dui)(dui)溫(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)波動范圍(wei)的(de)要(yao)求越來(lai)越小。例(li)如(ru)(ru)在(zai)大(da)規模(mo)集成電(dian)路生(sheng)產(chan)的(de)光(guang)(guang)刻曝光(guang)(guang)工藝(yi)中(zhong)，作(zuo)為掩膜板材料的(de)玻璃與(yu)硅片的(de)熱膨(peng)脹(zhang)系(xi)數的(de)差要(yao)求越來(lai)越小。直徑(jing)100 um的(de)硅片，溫(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)上升1度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)，就引起了0.24um線性膨(peng)脹(zhang)，所(suo)以必須(xu)有±0.1度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)的(de)恒(heng)溫(wen)(wen)(wen)，同時(shi)要(yao)求濕度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)值一般(ban)較低，因為人出汗以后，對(dui)(dui)產(chan)品(pin)將有污(wu)染，特別是怕鈉(na)的(de)半導(dao)體車間(jian)(jian)，這(zhe)種車間(jian)(jian)溫(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)不宜超(chao)(chao)過(guo)25度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)，濕度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)過(guo)高產(chan)生(sheng)的(de)問題更多。相對(dui)(dui)濕度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)超(chao)(chao)過(guo)55%時(shi)，冷卻水管(guan)壁上會(hui)結露，如(ru)(ru)果發生(sheng)在(zai)精密裝(zhuang)置或電(dian)路中(zhong)，就會(hui)引起各種事故。相對(dui)(dui)濕度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)在(zai)50%時(shi)易生(sheng)銹。此外，濕度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)太高時(shi)將通(tong)過(guo)空氣中(zhong)的(de)水分(fen)子(zi)(zi)把硅片表面(mian)粘(zhan)著的(de)灰塵化(hua)學(xue)吸附(fu)在(zai)表面(mian)難以清除。相對(dui)(dui)濕度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)越高,粘(zhan)附(fu)的(de)越難去掉，但(dan)當相對(dui)(dui)濕度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)低于(yu)30%時(shi)，又(you)由(you)于(yu)靜電(dian)力的(de)作(zuo)用使粒子(zi)(zi)也(ye)容(rong)易吸附(fu)于(yu)表面(mian)，同時(shi)大(da)量半導(dao)體器件容(rong)易發生(sheng)擊(ji)穿。對(dui)(dui)于(yu)硅片生(sheng)產(chan)濕度(du)(du)(du)(du)(du)(du)(du)范圍(wei)為35—45%。