潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體(ti)工(gong)藝對(dui)(dui)(dui)溫(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)要求以(yi)后還要列舉(ju)，但作為(wei)(wei)總的(de)(de)(de)(de)(de)原則看(kan)，由(you)(you)于(yu)加工(gong)精(jing)(jing)度(du)(du)(du)(du)(du)越(yue)來(lai)越(yue)精(jing)(jing)細，所以(yi)對(dui)(dui)(dui)溫(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)波動范圍的(de)(de)(de)(de)(de)要求越(yue)來(lai)越(yue)小(xiao)。例如在(zai)大(da)規(gui)模集成電(dian)路(lu)生產的(de)(de)(de)(de)(de)光刻曝(pu)光工(gong)藝中，作為(wei)(wei)掩膜板材料的(de)(de)(de)(de)(de)玻(bo)璃(li)與硅片(pian)的(de)(de)(de)(de)(de)熱膨脹(zhang)系數的(de)(de)(de)(de)(de)差(cha)要求越(yue)來(lai)越(yue)小(xiao)。直(zhi)徑100 um的(de)(de)(de)(de)(de)硅片(pian)，溫(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)上升1度(du)(du)(du)(du)(du)，就(jiu)引(yin)起(qi)了0.24um線性膨脹(zhang)，所以(yi)必(bi)須有±0.1度(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)恒溫(wen)，同(tong)時(shi)(shi)要求濕(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)值一般較低(di)，因(yin)為(wei)(wei)人出汗以(yi)后，對(dui)(dui)(dui)產品將(jiang)有污染(ran)，特別是(shi)怕鈉的(de)(de)(de)(de)(de)半導體(ti)車間(jian)，這(zhe)種車間(jian)溫(wen)度(du)(du)(du)(du)(du)不宜超(chao)過(guo)25度(du)(du)(du)(du)(du)，濕(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)過(guo)高產生的(de)(de)(de)(de)(de)問題(ti)更多。相(xiang)對(dui)(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)超(chao)過(guo)55%時(shi)(shi)，冷卻水(shui)管壁上會結(jie)露，如果發(fa)生在(zai)精(jing)(jing)密裝(zhuang)置(zhi)或電(dian)路(lu)中，就(jiu)會引(yin)起(qi)各種事故。相(xiang)對(dui)(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)在(zai)50%時(shi)(shi)易(yi)(yi)生銹。此外，濕(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)太高時(shi)(shi)將(jiang)通過(guo)空氣中的(de)(de)(de)(de)(de)水(shui)分子(zi)把硅片(pian)表(biao)面(mian)粘(zhan)著(zhu)的(de)(de)(de)(de)(de)灰塵(chen)化學吸附在(zai)表(biao)面(mian)難以(yi)清除(chu)。相(xiang)對(dui)(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)越(yue)高,粘(zhan)附的(de)(de)(de)(de)(de)越(yue)難去掉，但當相(xiang)對(dui)(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)低(di)于(yu)30%時(shi)(shi)，又由(you)(you)于(yu)靜(jing)電(dian)力(li)的(de)(de)(de)(de)(de)作用(yong)使粒(li)子(zi)也容(rong)易(yi)(yi)吸附于(yu)表(biao)面(mian)，同(tong)時(shi)(shi)大(da)量(liang)半導體(ti)器(qi)件容(rong)易(yi)(yi)發(fa)生擊穿(chuan)。對(dui)(dui)(dui)于(yu)硅片(pian)生產濕(shi)度(du)(du)(du)(du)(du)范圍為(wei)(wei)35—45%。