潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程設計施工具體(ti)工(gong)藝對(dui)(dui)溫(wen)(wen)度(du)(du)的(de)(de)要求以(yi)(yi)后還要列舉(ju)，但作為總的(de)(de)原(yuan)則看，由于(yu)加(jia)工(gong)精度(du)(du)越來(lai)越精細，所(suo)以(yi)(yi)對(dui)(dui)溫(wen)(wen)度(du)(du)波(bo)動范圍的(de)(de)要求越來(lai)越小。例如(ru)(ru)在大規模集成(cheng)電路(lu)生(sheng)產(chan)的(de)(de)光刻曝光工(gong)藝中(zhong)，作為掩膜板材(cai)料的(de)(de)玻璃與硅片(pian)的(de)(de)熱(re)膨脹系數的(de)(de)差要求越來(lai)越小。直徑(jing)100 um的(de)(de)硅片(pian)，溫(wen)(wen)度(du)(du)上(shang)升1度(du)(du)，就引起了(le)0.24um線性(xing)膨脹，所(suo)以(yi)(yi)必須有±0.1度(du)(du)的(de)(de)恒溫(wen)(wen)，同(tong)時要求濕(shi)度(du)(du)值一般(ban)較低，因為人出汗以(yi)(yi)后，對(dui)(dui)產(chan)品將有污染，特別是怕鈉的(de)(de)半導(dao)體(ti)車間，這種車間溫(wen)(wen)度(du)(du)不宜超過(guo)25度(du)(du)，濕(shi)度(du)(du)過(guo)高產(chan)生(sheng)的(de)(de)問(wen)題更多。相(xiang)對(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)超過(guo)55%時，冷卻水管壁上(shang)會結(jie)露(lu)，如(ru)(ru)果發生(sheng)在精密裝置或電路(lu)中(zhong)，就會引起各種事故。相(xiang)對(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)在50%時易(yi)生(sheng)銹。此外，濕(shi)度(du)(du)太高時將通(tong)過(guo)空氣中(zhong)的(de)(de)水分子(zi)把硅片(pian)表面粘著的(de)(de)灰(hui)塵化(hua)學吸(xi)附(fu)在表面難以(yi)(yi)清除。相(xiang)對(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)越高,粘附(fu)的(de)(de)越難去掉，但當相(xiang)對(dui)(dui)濕(shi)度(du)(du)低于(yu)30%時，又由于(yu)靜電力(li)的(de)(de)作用使粒子(zi)也容易(yi)吸(xi)附(fu)于(yu)表面，同(tong)時大量半導(dao)體(ti)器件容易(yi)發生(sheng)擊穿。對(dui)(dui)于(yu)硅片(pian)生(sheng)產(chan)濕(shi)度(du)(du)范圍為35—45%。